(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123418787.8 (22)申请日 2021.12.31 (73)专利权人 无锡赛思一科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区天山路 6-2504 (72)发明人 卢娇　 (74)专利代理 机构 无锡市才标专利代理事务所 (普通合伙) 32323 专利代理师 吕志垚 (51)Int.Cl. B25B 11/00(2006.01) B25H 1/02(2006.01) B25H 1/16(2006.01) (54)实用新型名称 一种硅片检验操作平台 (57)摘要 本实用新型属于操作平台技术领域， 尤其是 一种硅片检验操作平台， 针对现有的操作麻烦、 会降低检测效率的问题， 现提出如下方案， 其包 括底板， 所述底板上设置有两个竖板， 两个竖板 上均开设有竖腔， 两个竖腔中的一个竖腔内设置 有电机， 两个竖腔内设置有升降机构， 所述升降 机构包括两个第一螺杆， 两个第一螺杆与两个竖 腔的内壁转动连接， 两个第一螺杆中的一个第一 螺杆与电机的输出轴固定连接， 两个第一螺杆上 均固定安装有带轮， 两个带轮上传动安装有同一 个皮带， 两个第一螺杆上均螺纹连有螺纹板， 两 个螺纹板 上固定安装有同一个检测仪放置台， 本 实用新型能够快速进行双面检测， 提高检测效 率， 使用简单， 操作方便 。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217493969 U 2022.09.27 CN 217493969 U 1.一种硅片检验操作平台， 包括底板(1)， 其特征在于， 所述底板(1)上设置有两个竖板 (2)， 两个竖板(2)上均开设有竖腔(3)， 两个竖腔(3)中的一个竖腔(3)内设置有电机(4)， 两 个竖腔(3)内设置有升降机构， 所述升降机构包括两个第一螺杆(5)， 两个第一螺杆(5)与两 个竖腔(3)的内壁转动连接， 两个第一螺杆(5)中的一个第一螺杆(5)与电机(4)的输出轴固 定连接， 两个第一螺杆(5)上均固定安装有 带轮(6)， 两个带轮(6)上传动安装有同一个 皮带 (7)， 两个第一螺杆(5)上均螺纹连有螺纹板(8)， 两个螺纹板(8)上固定安装有同一个检测 仪放置台(9)， 两个第一螺杆(5)中的一个第一螺杆(5)上螺纹连接有齿筒(10)， 所述竖腔 (3)内转动安装有棘轮(11)， 所述棘轮(11)与齿筒(10)相啮合， 两个竖板(2)上设置有翻 转 机构。 2.根据权利要求1所述的一种硅片检验操作平台， 其特征在于， 所述翻转机构包括两个 轴杆(12)， 两个轴杆(12)与两个竖板(2)转动连接， 两个轴杆(12)中的一个轴杆(12)上转动 安装有多个卡板(13)， 多个卡板(13)上均 设置有第一弹簧(14)， 多个第一弹簧(14)均与轴 杆(12)固定连接， 两个轴杆(12)上固定安装有同一个卡框(15)， 卡框(15)上螺纹连接有多 个第二螺杆(16)， 多个第二螺杆(16)上均设置有压板(17)， 两个竖板(2)上均固定安装有安 装板(18)， 两个安装板(18)上均 设置有第二弹簧(19)， 两个第二弹簧(19)上均固定安装有 弧形销(20)， 两个轴杆(12)上均开设有两个销孔(21)， 四个销孔(21)与两个弧形销(20)相 互配合。 3.根据权利要求1所述的一种硅片检验操作平台， 其特征在于， 所述竖腔(3)内设置有 槽轨， 槽轨与齿筒(10)滑动连接 。 4.根据权利要求1所述的一种硅片检验操作平台， 其特征在于， 两个竖腔(3)内均设置 有竖轨， 两个螺纹板(8)与两个竖轨滑动连接 。 5.根据权利要求1所述的一种硅片检验操作平台， 其特征在于， 两个竖腔(3)内均设置 有轴承， 两个轴承的内圈与两个轴杆(12)固定连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217493969 U 2一种硅片检验操作平台 技术领域 [0001]本实用新型 涉及操作平台技 术领域， 尤其涉及一种硅片检验操作平台。 背景技术 [0002]硅片是半导体领域中必不可少的核心产品， 可以用来制作芯片、 光伏等高科技产 品， 硅片在生产时， 需要进行检验， 检验硅片的合格率， 避免影响到后续的使用， 检验硅片 时， 离不开检验操作平台。 [0003]现有技术中的操作平台都是固定 的， 不能进行反转调节， 当需要对硅片两面检测 时， 操作较为麻烦， 需要人力进行反转， 降低了检验效率， 且人力反转时， 容易损坏硅片， 为 此我们提出了一种硅片检验操作平台。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在操作麻烦、 会降低检测效率的缺 点， 而提出的一种硅片检验操作平台。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0006]一种硅片检验操作平台， 包括底板， 所述底板上设置有两个竖板， 两个竖板上均开 设有竖腔， 两个竖腔中的一个竖腔内设置有电机， 两个竖腔内设置有升降机构， 所述升降机 构包括两个第一螺杆， 两个第一螺杆与两个竖腔的内壁转动连接， 两个第一螺杆中的一个 第一螺杆与电机的输出轴固定连接， 两个第一螺杆上均固定安装有带轮， 两个带轮上传动 安装有同一个皮带， 两个第一螺杆上均螺纹连有螺纹板， 两个螺纹板上固定安装有同一个 检测仪放置台， 两个第一螺杆中的一个第一螺杆上螺纹连接有齿筒， 所述竖腔内转动安装 有棘轮， 所述棘轮与齿筒相啮合， 两个竖板上设置有翻转机构， 所述翻转机构包括两个轴 杆， 两个轴杆与两个竖板转动连接， 两个轴杆中的一个轴杆上转动安装有多个卡板， 多个卡 板上均设置有第一弹簧， 多个第一弹簧均与轴杆固定连接， 两个轴 杆上固定安装有同一个 卡框， 卡框上螺纹连接有多个第二螺杆， 多个第二螺杆上均设置有压板， 两个竖板上均固定 安装有安装板， 两个安装板上均设置有第二 弹簧， 两个第二 弹簧上均固定安装有弧形销， 两 个轴杆上均开设有两个销孔， 四个销孔与两个弧形销相互配合。 [0007]优选的， 两个竖腔内均设置有竖轨， 两个螺纹板与两个竖轨滑动连接 。 [0008]优选的， 两个竖腔内均设置有轴承， 两个轴承的内圈与两个轴杆固定连接 。 [0009]优选的， 所述竖腔内设置有槽 轨， 槽轨与齿筒滑动连接 。 [0010]与现有技 术相比， 本实用新型的优点在于： [0011]1、 本方案在使用时， 升降机构中两个第一螺杆、 两个带轮、 皮带、 两个螺纹板的设 置能够带动检测仪放置台上下滑动， 方便检测， 又不影响硅片的放置， 使得检测操作简单方 便。 [0012]2、 本方案在使用时， 翻转机构中两个轴杆、 多个卡板、 多个第一弹簧的设置能够翻 转卡框， 方便翻转硅片， 可以进行双面检测， 提高检测效率， 多个第二螺杆和多个压板的设说　明　书 1/3 页 3 CN 217493969 U 3