(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123419182.0 (22)申请日 2021.12.3 0 (73)专利权人 西安航思半导体有限公司 地址 710300 陕西省西安市鄠邑区吕公路 东段西户科技企业孵化器 C3号楼 (72)发明人 马磊　党鹏　杨光　彭小虎　 王新刚　庞朋涛　任斌　王妙妙　 (74)专利代理 机构 北京棘龙知识产权代理有限 公司 11740 专利代理师 聂颖 (51)Int.Cl. B25B 11/00(2006.01) B25H 1/08(2006.01) (54)实用新型名称 集成电路加工用定位机构 (57)摘要 本实用新型公开一种集成电路加工用定位 机构， 其一端与齿轮啮合的齿条的另一端自支撑 壳内向外延伸出并与支撑壳的侧壁滑动配合， 齿 轮通过一竖直设置的转轴可转动地安装于工作 台上， 齿轮上表面开设有至少2个沿圆周方向等 间隔设置的弧形通槽， 载板上开 设有与弧形通槽 对应的、 沿径向方向延伸的矩形通槽， 一竖直设 置的直杆的下端嵌入弧形通槽内并与弧形通槽 的内壁滑动配合， 直杆的上端 穿过对应的矩形通 槽并安装有一卡块， 至少2个与载板上表面滑动 配合的卡块之间形成供待加工基板放入的夹持 区。 本实用新型在提高基板位置精度的同时， 保 证了加工产品的品质， 还可以实现对不同尺寸的 基板进行固定 。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216504692 U 2022.05.13 CN 216504692 U 1.一种集成电路加工用定位机构， 其特征在于： 包括： 通过一支撑壳 （2） 安装于工作台 （1） 上的载板 （3） 、 位于支撑壳 （2） 内载板 （3） 下方的齿轮 （4） 和与所述齿轮 （4） 啮合的齿条 （5） ， 一端与所述齿轮 （4） 啮合的齿条 （5） 的另一端自支撑壳 （2） 内向外延伸出并与支撑壳 （2） 的侧壁滑动配合； 所述齿轮 （4） 通过一竖直设置的转轴 （6） 可转动地安装于工作台 （1） 上， 所述齿轮 （4） 上 表面开设有至少2个沿圆周方向等间隔设置的弧形通槽 （7） ， 所述载板 （3） 上开设有与所述 弧形通槽 （7） 对应的、 沿径向方向延伸的矩形通槽 （8） ， 一竖直设置的直杆 （9） 的下端嵌入 所 述弧形通槽 （7） 内并与弧形通槽 （7） 的内壁滑动配合， 所述直杆 （9） 的上端穿过对应的矩形 通槽 （8） 并安装有一卡块 （10） ， 至少2个与载板 （3） 上表面滑动配合的所述卡块 （10） 之间形 成供待加工基板放入的夹持区。 2.根据权利要求1所述的集成电路加工用定位机构， 其特征在于： 所述载板 （3） 的上表 面中央开设有凹槽， 内置有电热丝 （11） 的所述凹槽的内壁上安装有隔热层 （12） ， 所述凹槽 的开口处安装有导热板 （13） 。 3.根据权利要求1所述的集成电路加工用定位机构， 其特征在于： 所述卡块 （10） 上朝向 待加工基板的端面上贴附有橡胶垫片 （14） 。 4.根据权利要求1所述的集成电路加工用定位机构， 其特征在于： 与支撑壳 （2） 的顶板 固定连接的所述载板 （3） 的下端自该顶板处嵌入支撑壳 （2） 内。 5.根据权利要求1所述的集成电路加工用定位机构， 其特征在于： 所述齿条 （5） 位于支 撑壳 （2） 外侧的一端用于与驱动单 元连接。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216504692 U 2集成电路加工用定位机构 技术领域 [0001]本实用新型 涉及半导体 器件加工领域， 具体为 一种集成电路加工用定位机构。 背景技术 [0002]随着信息社会的高速发展， 大数据时代即将到来， 网络、 数据中心、 高性能计算机 对其数据的传输速度、 宽带和功耗的要求越来越高。 芯片键合是将芯片与基底直接安装互 联的一种方法， 其决定 了芯片封装的精度、 效率和可靠性。 [0003]但是， 目前芯片与基板在键合过程中， 存在基板移动导致键合位置出现偏差 的情 况， 从而严重影响了加工产品的品质。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是提供一种集成电路加工用定位机构， 该集成电路加工用定位 机构可以方便、 快捷的实现基板的位置固定， 在提高基板位置精度的同时， 保证了加工产品 的品质， 还可以实现对不同尺寸的基板进行固定， 提高了整体的适用性。 [0005]为达到上述目的， 本 实用新型采用的技术方案是： 一种集成电路加工用定位机构， 通过一支撑壳安装于工作台上的载板、 位于支撑壳内载板下方的齿轮和与所述齿轮啮合的 齿条， 一端与所述齿轮啮合的齿 条的另一端自支撑壳内向外延伸出并与支撑壳的侧壁滑动 配合； [0006]所述齿轮通过一竖直设置的转轴可转动地安装于工作台上， 所述齿轮上表面开设 有至少2个沿圆周方向等间隔设置的弧形通槽， 所述载板上开设有与所述弧形通槽对应的、 沿径向方向延伸的矩形通槽， 一竖直设置的直杆的下端嵌入所述弧形通槽内并与弧形通槽 的内壁滑动配合， 所述直杆的上端穿过对应的矩形通槽并安装有一卡块， 至少2个与载板上 表面滑动配合的所述 卡块之间形成供待加工基板放入的夹持区。 [0007]上述技术方案中进一 步改进的方案如下： [0008]1. 上述方案中， 所述载板的上表面中央开设有凹槽， 内置有电热丝的所述凹槽的 内壁上安装有隔热层， 所述凹槽的开口处安装有导热板 。 [0009]2. 上述方案中， 所述 卡块上朝向待加工基板的端面上贴附有橡胶垫片。 [0010]3. 上述方案中， 与支撑壳的顶板固定连接 的所述载板的下端自该顶板处嵌入支 撑壳内。 [0011]4. 上述方案中， 所述齿条位于支撑壳外侧的一端用于与驱动单 元连接。 [0012]由于上述 技术方案的运用， 本实用新型与现有技 术相比具有下列优点： [0013]本实用新型集成电路加工用定位机构， 其一端与齿轮啮合的齿条的另一端自支撑 壳内向外延伸出并与支撑壳的侧壁滑动配合， 齿轮通过一竖直设置的转轴可转动地安装于 工作台上， 齿轮上表面开设有至少2个沿圆周方向等间隔设置的弧形通槽， 载板上开设有与 弧形通槽对应的、 沿径向方向延伸的矩形通槽， 一竖直设置的直杆的下端嵌入弧形通槽内 并与弧形通槽的内壁滑动配合， 直杆的上端穿过对应的矩形通槽并安装有一卡块， 至少2个说　明　书 1/3 页 3 CN 216504692 U 3