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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123339722.4 (22)申请日 2021.12.28 (73)专利权人 孙健芯 地址 655508 云南省曲靖市富源县 黄泥河 镇五乐村 (72)发明人 孙健芯 张涛 游必超 张云松 姚元 后颖黎 周尧冲 (74)专利代理 机构 保定超宇专利代理有限公司 13161 专利代理师 汪扬 (51)Int.Cl. B23K 37/00(2006.01) B23K 37/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种应用 于半导体器件生产的新型金属线 焊接打火电极 (57)摘要 本实用新型公开了一种应用 于半导体器件 生产的新型金属线焊接打火电极, 涉及电极技术 领域。 本实用新型包括缸体和驱动件, 所述缸体 上设有穿过自身的电极, 所述缸体内滑动安装有 活塞, 所述活塞远离所述缸体腔室的一侧通过管 道连通有密封的腔体, 所述缸体与所述腔体所构 成的连通腔室内充斥有气体, 所述腔体上设有用 于给自身降温的降温装置。 本实用新型通过设置 缸体、 腔体和驱动件, 使得缸体与腔体内的气体 不断的进行液化和气化, 且气化过程中通过吸热 降低缸体内的温度, 从而直接与电极进行降温处 理, 与现有技术采用冷却液间接降温相比, 本实 用新型降温 效果有显著的提高, 进一步延长了电 极的使用寿 命。 权利要求书1页 说明书3页 附图8页 CN 217193421 U 2022.08.16 CN 217193421 U 1.一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接打火电极, 其特征在于, 包括缸体(1) 和驱动件( 2), 所述缸体(1)上设有穿过自身的电极(3), 所述缸体(1)内滑动安装有活塞 (4), 所述活塞(4)远离所述缸体(1)腔室的一侧通过管道连通有密封的腔体(5), 所述缸体 (1)与所述腔体(5)所构成的连通腔室内充斥有气体, 所述腔体(5)上设有用于给自身降温 的降温装置(6), 所述驱动件(2)用于驱动所述活塞(4)在所述缸体(1)内进行往复运动。 2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接打火电极, 其 特征在于, 所述降温装置(6)包括管体, 所述腔 体(5)安装在管体内, 管体两端与循环冷却液 连通。 3.根据权利要求1所述的一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接打火电极, 其 特征在于, 所述驱动件(2)包括电机, 电机与所述活塞(4)之间通过传动件(7)连接, 通过所 述传动件(7), 当电机 工作时, 所述活塞(4)可在所述缸体(1)内进行往复运动。 4.根据权利要求3所述的一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接打火电极, 其 特征在于, 所述传动件(7)为 安装在电机 输出轴与所述活塞(4)之间的曲轴。 5.根据权利要求2所述的一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接打火电极, 其 特征在于, 所述腔体(5)的形状为中空的圆柱体, 其轴线与管体轴线共线, 该圆柱体的两端 之间贯穿有若干个穿 孔。 6.根据权利要求1所述的一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接打火电极, 其 特征在于, 气体为氨气。 7.根据权利要求1所述的一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接打火电极, 其 特征在于, 所述电极(3)的轴线与所述缸体(1)的轴线平行。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 217193421 U 2一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接 打火电极 技术领域 [0001]本实用新型涉及电极技术领域, 具体涉及 一种应用于半导体器件生产的新型金属 线焊接打火电极。 背景技术 [0002]焊接, 也称作熔接, 是一种以加热、 高温或者高压的方式接合金属或其他热塑性材 料如塑料的制造工艺及技术, 现代焊接的能量来源有很多种, 包括气体焰、 电弧、 激光、 电子 束、 摩擦和超声波等, 例如在半导体的生产中需要对金属线进 行焊接, 在焊接中为了使电极 减少因高温而发生的形变以及延长电极的使用寿命, 焊接后需要给电极进行降温处理, 现 有的方法基本为通过循环冷却液给电极臂进 行降温, 从而通过热传导使电极的温度传给电 极臂, 这种降温的效果极低, 使得不能很好的给电极延长使用寿命。 实用新型内容 [0003]本实用新型的目的在于: 为解决上述背景技术中提出的问题, 本实用新型提供了 一种应用于半导体 器件生产的新型 金属线焊接打火电极。 [0004]本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技 术方案: [0005]一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接打火电极, 包括缸体和驱动件, 所 述缸体上设有穿过自身的电极, 所述缸体内滑动安装有活塞, 所述活塞远离所述缸体腔室 的一侧通过管道连通有密封的腔体, 所述缸体与所述腔体所构成的连通腔室内充斥有气 体, 所述腔体上设有用于给自身降温的降温装置, 所述驱动件用于驱动所述活塞在所述缸 体内进行往复运动。 [0006]进一步地, 所述降温装置包括管体, 所述腔体安装在管体内, 管体两端与循环 冷却 液连通。 [0007]进一步地, 所述驱动件包括电机, 电机与所述活塞之间通过传动件连接, 通过所述 传动件, 当电机 工作时, 所述活塞可在所述缸体内进行往复运动。 [0008]进一步地, 所述传动件为 安装在电机 输出轴与所述活塞之间的曲轴。 [0009]进一步地, 所述腔体的形状为中空的圆柱体, 其轴线与管体轴线共线, 该圆柱体的 两端之间贯 穿有若干个穿 孔。 [0010]进一步地, 气体为氨气。 [0011]进一步地, 所述电极的轴线与所述缸体的轴线平行。 [0012]本实用新型的有益效果如下: [0013]1、 本实用新型通过设置缸体、 腔体和驱动件, 使得缸体与腔体内的气体不断的进 行液化和气化, 且气化过程中通过吸热降低缸体内的温度, 从而直接与电极进 行降温处理, 与现有技术采用冷却液间接降温相比, 本实用新型降温效果有显著的提高, 进一步延长了 电极的使用寿命。说 明 书 1/3 页 3 CN 217193421 U 3
专利 一种应用于半导体器件生产的新型金属线焊接打火电极
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