(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222303520.2 (22)申请日 2022.08.31 (73)专利权人 潍坊伊能光伏科技有限公司 地址 261000 山东省潍坊市综合保税区清 池街道高新二路政务服务中心 二楼1- 151号 (72)发明人 黄娜　庄志伟　 (51)Int.Cl. B24B 9/06(2006.01) B24B 41/04(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 47/22(2006.01) (54)实用新型名称 一种自动化单晶硅片倒角装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种自动化单晶硅片倒 角装置， 涉及单晶硅生产技术领域， 底座上设置 移动组件一、 移动组件二、 移动组件三， 移动组件 一和移动组件二设置在同一水平线上， 移动组件 三设置在移动组件一和移动组件二之间， 且移动 组件二与移动组件一垂直设置， 移动组件一和移 动组件二上均装有滑台一， 移动组件二上的滑台 上固定有主轴组件一， 移动组件一上的滑台上固 定有主轴组件二， 主轴组件一、 主轴组件二均通 过传动组件与驱动电机相连接， 滑台二上部固定 有用于夹持代加工单晶硅的装夹组件， 主轴组件 一和主轴组件二上均装有砂轮组件； 本实用新型 通过移动组件一、 移动组件二、 移动组件三的配 合使用， 实现了对单晶硅的倒角切削。 权利要求书1页 说明书4页 附图8页 CN 217890477 U 2022.11.25 CN 217890477 U 1.一种自动化单晶硅片倒角装置， 包括底座， 其特征在于： 所述底座上设置移动组件 一、 移动组件二、 移动组件三， 所述移动组件一和移动组件二设置在同一水平线上， 所述移 动组件三设置在移动组件一和移动组件二之间， 且移动组件二与移动组件一垂直设置， 所 述移动组件一和移动组件二上均装有滑台一， 所述移动组件二上的滑台上固定有主轴组件 一， 所述移动组件一上的滑台上固定有主轴组件二， 所述主轴组件一、 主轴组件二均通过传 动组件与驱动电机相连接， 所述移动组件三上装有滑台二， 所述滑台二上部固定有用于夹 持代加工单晶硅的装夹组件， 所述主轴组件一和主轴组件二上均装有砂轮组件。 2.根据权利要求1所述的一种自动 化单晶硅片倒角装置， 其特征在于： 所述移动组件一 包括两个平行设置的滑轨一， 每个滑轨一上装有滑块一， 所述滑块一上部与移动组件一上 的滑台一固定连接， 所述滑台一下部装有连接块一， 所述连接块上通过螺纹与丝杠一相连 接， 所述丝杠一由伺服电机一驱动。 3.根据权利要求1所述的一种自动 化单晶硅片倒角装置， 其特征在于： 所述移动组件二 包括两个平行设置的滑轨二， 每个滑轨二上装有滑块二， 所述滑块二上部与移动组件二上 的滑台二固定连接， 所述滑台二下部装有连接块二， 所述连接块上通过螺纹与丝杠二相连 接， 所述丝杠二由伺服电机二驱动。 4.根据权利要求1所述的一种自动 化单晶硅片倒角装置， 其特征在于： 所述移动组件三 包括两个平行设置的滑轨三， 每个滑轨三上装有滑块三， 所述滑块三上部与移动组件三上 的滑台三固定连接， 所述滑台三下部装有连接块三， 所述连接块上通过螺纹与丝杠三相连 接， 所述丝杠三由伺服电机三驱动。 5.根据权利要求1所述的一种自动 化单晶硅片倒角装置， 其特征在于： 所述传动组件包 括带轮一和带轮二， 所述带轮一安装在驱动电机的输出轴 上， 所述带轮二安装在主轴组件 一或主轴组件二上， 所述带轮一与带轮二 通过皮带相连接 。 6.根据权利要求1所述的一种自动 化单晶硅片倒角装置， 其特征在于： 所述主轴组件一 包括主轴箱和主轴本体， 所述主轴本体安装在主轴箱内， 所述主轴本体两端均伸出主轴箱， 所述主轴箱上装有轴承， 所述主轴本体安装在轴承内圈中， 所述主轴本体一端装有传动组 件的带轮二， 所述主轴本体另一端装有砂轮组件。 7.根据权利要求1所述的一种自动 化单晶硅片倒角装置， 其特征在于： 所述装夹组件包 括夹持底座和压紧部， 所述夹持底座固定在滑台三上， 所述压紧部安装在夹持底座上部， 且 压紧部能够沿垂直方向移动。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217890477 U 2一种自动化 单晶硅片倒角装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及单晶硅生产技 术领域， 尤其涉及一种自动化单晶硅片倒角装置 。 背景技术 [0002]单晶硅片由单晶硅棒经多线切割而成， 切割后的硅片边缘锐利， 有棱角、 毛刺、 崩 边， 甚至存在微小的裂纹及其他缺陷， 边缘的表 面也比较粗糙。 而这种锐利边缘在后续加工 和使用过程中会与承载片盒及其他机械部件发生摩擦或撞击使硅片边缘产生应力集中而 导致硅片产生微裂纹、 崩边、 破裂， 造成硅片不良及废弃， 同时， 由于硅片破裂产生的碎硅片 和硅渣又会间接或直接对其他硅片和加工机台产生影响， 对于硅片洁净度要求高的加工工 序， 则会造成更大的损失。 倒角是指将切割成的晶片锐利边修整成圆弧形， 是非常重要的一 个工艺步骤。 实用新型内容 [0003]本实用新型提出了一种自动化单晶硅片倒角装置 。 [0004]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0005]一种自动化单晶硅片倒角装置， 包括底座， 所述底座上设置移动组件一、 移动组件 二、 移动组件三， 所述移动组件一和移动组件二设置在同一水平线 上， 所述移动组件三设置 在移动组件一和移动组件二之间， 且移动组件二与移动组件一垂直设置， 所述移动组件一 和移动组件二上均装有滑台一， 所述移动组件二上 的滑台上固定有主轴组件一， 所述移动 组件一上 的滑台上固定有主轴组件二， 所述主轴组件一、 主轴组件二均通过传动组件与驱 动电机相连接， 所述移动组件三上装有滑台二， 所述滑台二上部固定有用于夹持代加工单 晶硅的装夹组件， 所述主轴组件一和主轴组件二上均装有砂轮组件。 [0006]进一步的， 所述移动组件一包括两个平行设置 的滑轨一， 每个滑轨一上装有滑块 一， 所述滑块一上部与 移动组件一上的滑台一固定连接， 所述滑台一下部装有连接块一， 所 述连接块上通过螺纹与丝杠一相连接， 所述丝杠一由伺服电机一驱动。 [0007]进一步的， 所述移动组件二包括两个平行设置 的滑轨二， 每个滑轨二上装有滑块 二， 所述滑块二上部与 移动组件二上的滑台二固定连接， 所述滑台二下部装有连接块二， 所 述连接块上通过螺纹与丝杠二相连接， 所述丝杠二由伺服电机二驱动。 [0008]进一步的， 所述移动组件三包括两个平行设置 的滑轨三， 每个滑轨三上装有滑块 三， 所述滑块三上部与 移动组件三上的滑台三固定连接， 所述滑台三下部装有连接块三， 所 述连接块上通过螺纹与丝杠三相连接， 所述丝杠三由伺服电机三驱动。 [0009]进一步的， 所述传动组件包括带轮一和带轮二， 所述带轮一安装在驱动电机 的输 出轴上， 所述带轮二安装在主轴组件一或主轴组件二上， 所述带轮一与带轮二通过皮带相 连接。 [0010]进一步的， 所述主轴组件一包括主轴箱和主轴本体， 所述主轴本体安装在主轴箱 内， 所述主轴本体两端均伸出主轴箱， 所述主轴箱上装有轴承， 所述主轴本体安装在轴承内说　明　书 1/4 页 3 CN 217890477 U 3