(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210610588.7 (22)申请日 2022.05.31 (71)申请人 杭州中为 光电技术有限公司 地址 311100 浙江省杭州市余杭区钱江经 济开发区龙 船坞路96号 (72)发明人 朱亮　李宏　张鑫　景健　薄晓东　 (74)专利代理 机构 杭州华进联浙知识产权代理 有限公司 3 3250 专利代理师 高礼强 (51)Int.Cl. B28D 5/00(2006.01) B28D 7/04(2006.01) B28D 7/00(2006.01) B24B 9/06(2006.01) B24B 41/06(2012.01)B24B 41/00(2006.01) B24B 49/00(2012.01) B08B 3/02(2006.01) (54)发明名称 硅片自动 倒角清洗一体化设备 (57)摘要 本申请涉及硅加工技术领域， 尤其涉及一种 硅片自动倒角 清洗一体化设备， 包括： 沿转移机 构周向布设的转移机构、 检测机构、 倒角机构和 清洗机构， 倒角机构与检测机构相邻； 清洗机构 与倒角机构相邻； 上料机构， 包括具有第一接料 部和第二接料部的第一上料单元和具有第三接 料部的第二上料单元， 第二接料部用于获取已完 成加工的硅片并转运至第一交互点， 在第一交互 点处， 第一接料部承接承接部上的硅片， 承接部 将所得硅片转交给第一接料部后， 同时承接第二 接料部上的硅片； 第三接料部承接第一接料部上 的硅片， 并转运至与第一上料单元配对的机构。 该一体化设备结构简化， 硅片转运路径缩短， 硅 片转运速度提升， 有效避免机构闲置， 提高硅片 的整体加工 速度。 权利要求书2页 说明书11页 附图11页 CN 114888983 A 2022.08.12 CN 114888983 A 1.一种硅片自动 倒角清洗一体化设备， 其特 征在于， 所述 一体化设备包括： 检测机构(20)， 用于检测并定位硅片(20 0)； 倒角机构(30)， 用于倒角已完成检测定位的硅片(200)， 所述倒角机构(30)与所述检测 机构(20)相邻设置； 清洗机构(40)， 用于清洗已完成倒角的硅片(200)， 所述清洗机构(40)与所述倒角机构 (30)相邻设置； 转移机构(50)， 用于转运硅片(200)， 所述转移机构具有用于承接硅片(200)的承接部 (51)； 其中， 所述检测机构(20)、 所述倒角机构(30)和所述清洗机构(40)沿所述转移机构 (50)周向布设； 上料机构(60)， 所述检测机构(20)、 所述倒角机构(30)和所述清洗机构(40)中的至少 一个配备一所述上 料机构(6 0)； 其中， 所述上料机构(60)包括第一上料单元(61)和第二上料单元(62)， 所述第一上料 单元(61)具有第一接料部(611)和第二接料部(612)， 所述第二接料部(612)用于获取对应 配对的机构中已完成加工的硅片(200)并转运至第一交互点(A1)， 在所述第一交互点(A1) 处， 所述第一接料部(611)用于承接所述承接部(51)上的硅片(200)， 所述承接部(51)将所 得硅片(200)转交给所述第一接料部(611)后， 同时承接所述第二接料部(612)上的硅片 (200)； 所述第二上料单元(62)具有至少一个用于承接硅片(200)的第三接料部(621)， 所述 第三接料部(621)与所述第一接料部(611)在第二交互点(A2)处交互， 以承接所述第一接料 部(611)上的硅片(20 0)， 并转运至与所述第一上 料单元(61)配对的机构。 2.根据权利要求1所述的硅片自动倒角清洗一体化设备， 其特征在于， 所述检测机构 (20)、 所述倒角机构(30)、 所述清洗机构(40)以所述转移机构(50)为中心并沿所述转移机 构(50)的周向均匀分布。 3.根据权利要求2所述的硅片自动倒角清洗一体化设备， 其特征在于， 所述倒角机构 (30)设置的数量为两个， 所述检测机构(20)和所述转移机构(50)位于两个所述倒角机构 (30)之间。 4.根据权利要求1所述的硅片自动倒角清洗一体化设备， 其特征在于， 所述检测机构 (20)、 倒角机构(30)、 所述清洗机构(40)上均 设有用于承接硅片(200)的容置盘， 沿所述第 一上料单元(61)的高度方向， 所述第二交互点(A2)的投影与配对机构处的所述容置盘重 叠。 5.根据权利要求1 ‑4中任意一项所述的硅片自动倒角清洗一体化设备， 其特征在于， 所 述第一上料单元(61)包括第一支座(613)和第一吊臂(614)， 所述第一吊臂(614)一端与所 述第一支座(613)连接且能够相对于所述第一支座(613)运动， 另一端设置有所述第一接料 部(611)和所述第二接料部(612)； 所述第二上料单元(62)包括第二支座(622)和第二吊臂(623)， 所述第二吊臂(623)一 端与所述第一支座(613)连接且能够相对于所述第一支座(613)运动， 另一端设有 所述第三 接料部(621)。 6.根据权利要求5所述的硅片自动倒角清洗一体化设备， 其特征在于， 所述第一支座 (613)与所述第二支座(62 2)设为分体式。 7.根据权利要求5所述的硅片自动倒角清洗一体化设备， 其特征在于， 所述第一支座权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114888983 A 2(613)与所述第二支座(62 2)设为一体式。 8.根据权利要求1所述的硅片自动倒角清洗一体化设备， 其特征在于， 沿所述第 一上料 单元(61)的高度方向， 所述第一接料部(611)位于所述第二接料部(612)的正上方， 以使所 述承接部(51)与所述第一接料部(611)交接后， 沿所述第一上料单元(61)的高度方向直线 下移至与所述第二接料部(612)交 互。 9.根据权利要求1所述的硅片自动倒角清洗一体化设备， 其特征在于， 所述第 一上料单 元(61)具有初始状态和转运状态， 初始状态下， 沿所述第一上料单元(61)的高度方向， 所述 第一接料部(61 1)和所述第二接料部(612)的投影与所述第一交 互点(A1)重合。 10.根据权利要求1所述的硅片自动倒角清洗一体化设备， 其特征在于， 沿所述第二上 料单元(62)的高度方向， 所述第三接料部(621)的投影与所述第二交 互点(A2)重合。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114888983 A 3