(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221778363.4 (22)申请日 2022.07.07 (73)专利权人 砺铸智能设备 （天津） 有限公司 地址 300000 天津市津南区咸水沽镇聚兴 道9号1号楼一层 (72)发明人 杨毅　 (74)专利代理 机构 北京睿博行远知识产权代理 有限公司 1 1297 专利代理师 应琼婷 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/95(2006.01) (54)实用新型名称 一种芯片暗裂红外光源检测装置 (57)摘要 本申请实施例公开了一种芯片暗裂红外光 源检测装置， 涉及半导体表面检测技术领域， 具 体为一种芯片暗裂红外光源检测装置， 包括检测 基座， 所述检测基座的顶部设置有相机镜头模组 与照明光源， 所述检测基座的顶部放置有Si基衬 底样品， 所述检测基座的顶部设置有立向调节支 架、 横向调节支架， 且横向调节支架的外部活动 安装有连接滑 块， 所述连接滑 块的底部固定安装 有相机镜头模组。 该芯片暗裂红外光源检测装 置， 通过伺服电机带动主动齿轮转动与辅助驱动 齿条相互配合， 带动连接滑座、 照明光源移动， 调 整照明光源照射样品的角度， 使光源 方向与基底 晶向方向一致， 使光源穿透深度最大化， 提高样 品暗裂异常的检出率。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217901537 U 2022.11.25 CN 217901537 U 1.一种芯片暗裂红外光源检测装置， 包括检测基座(1)， 所述检测基座(1)的顶部设置 有相机镜头模组(5)与照明光源(9)， 所述检测基座(1)的顶部放置有Si基衬底样品(14)， 其 特征在于： 所述检测基座(1)的顶部设置有立 向调节支架(2)、 横向调节支架(3)， 且横向调 节支架(3)的外部活动安装有连接滑块(4)， 所述连接滑块(4)的底部固定安装有相机镜头 模组(5)， 所述连接滑块(4)的正面设置有导向滑轨(6)， 且导向滑轨(6)的外部活动安装有 照明光源(9)， 所述检测基座(1)的顶部活动安装有检测转台(13)， 且检测转台(13)的顶部 放置有Si基衬底样品(14)， 所述检测基座(1)的顶部固定安装有可编程控制器(15)， 且 可编 程控制器(15)与相机 镜头模组(5)、 照明光源(9)电性连接 。 2.根据权利要求1所述的一种芯片暗裂红外光源检测装置， 其特征在于： 所述检测基座 (1)的顶部固定安装有立 向调节支架(2)， 且立向调节支架(2)的外部活动安装有横向调节 支架(3)， 所述 立向调节 支架(2)、 横向调节 支架(3)之间的角度为九十度。 3.根据权利要求1所述的一种芯片暗裂红外光源检测装置， 其特征在于： 所述导向滑轨 (6)的背面固定安装有连接架(7)， 且 连接架(7)与连接滑 块(4)固定连接， 所述导向滑轨(6) 的形状为拱 形。 4.根据权利要求1所述的一种芯片暗裂红外光源检测装置， 其特征在于： 所述导向滑轨 (6)的外部活动安装有连接滑座(8)， 且连接滑座(8)的底部固定安装有照明光源(9)。 5.根据权利要求4所述的一种芯片暗裂红外光源检测装置， 其特征在于： 所述连接滑座 (8)的正面固定安装有伺服电机(10)， 且伺服电机(10)的输出轴上固定套装有主动齿轮 (11)， 所述导向滑轨(6)的内部设置有与主动齿轮(11)相互配合的辅助驱动齿条(12)， 所述 伺服电机(10)与可编程控制器(15)电性连接 。 6.根据权利要求5所述的一种芯片暗裂红外光源检测装置， 其特征在于： 所述主动齿轮 (11)的宽度值与辅助驱动齿 条(12)的宽度值相同， 所述主动齿轮(11)的外沿与辅助驱动齿 条(12)相互啮合。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217901537 U 2一种芯片暗裂红外光源检测装 置 技术领域 [0001]本申请涉及半导体表面检测技术领域， 更具体地， 涉及一种芯片暗裂红外光源检 测装置。 背景技术 [0002]随着芯片不断向微型化发展， FC ‑BGA、 2.5D /3D、 WLCSP、 Fan ‑Out等各种先进封装技 术呈现爆发式增长。 对于芯片封装表面检测技术的要求也是越来越高， 针对表面异常的检 测类型(脏污、 划痕、 压伤、 裂痕)等会采用不同的光源与检测 视觉系统， 目前针对裂痕普遍 采用红外、 近红外光源检测的方法。 [0003]现有技术中， 经常采用垂直方向的照明方式来为成像提供照明光源， 由于不 同基 底的产品生长存在一定的晶向差异， 近红外、 红外垂直照射的方式导致穿透深度 受到基底 的影响， 较深区域的裂痕存在漏检的情况， 为此我们提出一种芯片暗裂红外光源检测装置 以解决上述 提出的问题。 实用新型内容 [0004]鉴于上述问题， 本申请提出了一种芯片暗裂红外光源检测装置， 以改善上述问题。 [0005]为实现以上目的， 本实用新型通过以下技术方案予以实现： 一种芯片 暗裂红外光 源检测装置， 包括检测基座， 所述检测基座的顶部 设置有相机镜头模组与照明光源， 所述检 测基座的顶部放置有Si基衬底样品， 所述检测 基座的顶部设置有立向调节支架、 横向调节 支架， 且横向调节支架的外部活动安装有连接滑块， 所述连接滑块的底部固定安装有相 机 镜头模组， 所述连接滑块的正面设置有导向滑轨， 且导向滑轨的外部活动安装有照明光源， 所述检测 基座的顶部活动安装有检测转台， 且检测转台的顶部放置有Si基衬底样品， 所述 检测基座的顶部固定安装有可编程控制器， 且可编程控制器与相 机镜头模组、 照明光源电 性连接。 [0006]优选的， 所述检测基座的顶部固定安装有立向调节支架， 且立向调节支架的外部 活动安装有横向调节 支架， 所述立向调节 支架、 横向调节 支架之间的角度为九十度。 [0007]优选的， 所述导向滑轨的背面固定安装有连接架， 且连接架与连接滑块固定连接， 所述导向滑轨的形状为拱 形。 [0008]优选的， 所述导向滑轨 的外部活动安装有连接滑座， 且连接滑座的底部固定安装 有照明光源。 [0009]优选的， 所述连接滑座的正面固定安装有伺服电机， 且伺服电机的输出轴上固定 套装有主动齿轮， 所述导向滑轨的内部设置有与主动齿轮相互配合的辅助驱动齿条， 所述 伺服电机与可编程控制器电性连接 。 [0010]优选的， 所述主动齿轮的宽度值与辅助驱动齿条的宽度值相同， 所述主动齿轮的 外沿与辅助驱动齿条相互啮合。 [0011]本申请提供的一种芯片暗裂红外光源检测装置， 具 备以下有益效果：说　明　书 1/3 页 3 CN 217901537 U 3