(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221386931.6 (22)申请日 2022.06.02 (73)专利权人 深圳格芯集成电路装备有限公司 地址 518000 广东省深圳市坪 山区龙田街 道竹坑社区翠景路33号格兰达装备产 业园二期厂房一层至三层 (72)发明人 林宜龙　刘飞　黄水清　严学喜　 林清岚　 (74)专利代理 机构 深圳高智量知识产权代理有 限公司 4 4851 专利代理师 姚启迪 (51)Int.Cl. G01N 21/84(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 托承结构及检测设备 (57)摘要 本实用新型提供了一种托承结构及检测设 备， 包括托承板和升降组件； 所述托承板形成有 托承平面和吸附孔， 所述托承平面用于放置料 条， 所述吸附孔贯穿所述托承平面， 所述吸附孔 用于吸平料条； 所述升降组件与所述托承板连 接， 所述升降组件用于驱动所述托承板作升降运 动。 所述升降组件与所述托承板连接， 所述升降 组件用于驱动所述 托承板作升降运动。 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 CN 217561343 U 2022.10.11 CN 217561343 U 1.一种托承结构， 其特 征在于， 包括： 托承板， 所述托承板形成有托承平面和吸附孔， 所述托承平面用于放置料条， 所述吸附 孔贯穿所述托承平面， 所述吸附孔用于吸平料 条； 升降组件， 所述升降组件与所述托承板连接， 所述升降组件用于驱动所述托承板作升 降运动。 2.根据权利要求1所述的托承结构， 其特征在于， 所述吸附孔为若干个， 若干个所述吸 附孔呈矩阵排列。 3.根据权利要求1所述的托承结构， 其特征在于， 所述升降组件包括驱动件和升降架， 所述驱动件的动力输出端与所述升降架连接， 所述升降架与所述 托承板的两端连接 。 4.根据权利要求3所述的托承结构， 其特征在于， 所述升降架包括第一立板、 第二立板 以及连接板， 所述第一立板的一端与所述托承板的一端连接， 所述第一立板的另一端与所 述连接板的一端连接， 所述第二立板的一端与所述托承板的另一端连接， 所述第二立板的 另一端与所述连接 板的另一端连接； 所述连接 板与所述驱动件的动力输出端连接 。 5.根据权利要求4所述的托承结构， 其特征在于， 所述托承结构还包括第 一导向组件和 第二导向组件， 所述第一导向组件与所述第一立板连接， 所述第一导向组件用于对所述第 一立板的运动进行导向； 所述第二导向组件与所述第二立板连接， 所述第二导向组件用于 对所述第二 立板的运动进行导向。 6.根据权利要求5所述的托承结构， 其特征在于， 所述第 一导向组件包括第 一交叉滚珠 导轨和第一导轨安装座， 所述第一交叉滚珠导轨与所述第一立板固定， 所述第一导轨安装 座与所述第一交叉滚珠导轨滑动连接； 所述第二导向组件包括第 二交叉滚珠导轨和第 二导轨安装座， 所述第 二交叉滚珠导轨 与所述第二 立板固定， 所述第二 导轨安装座与所述第二交叉滚珠导轨滑动连接 。 7.根据权利要求4所述的托承结构， 其特征在于， 所述托承结构还包括第三导向组件， 所述第三导向组件与所述连接板连接， 所述第三导向组件用于对所述连接板的运动进 行导 向。 8.根据权利要求7所述的托承结构， 其特征在于， 所述第 三导向组件包括第 三交叉滚珠 导轨和第三导轨安装座， 所述第三交叉滚珠导轨与所述连接板固定， 所述第三导轨安装座 与所述第三交叉滚珠导轨滑动连接 。 9.根据权利要求4所述的托承结构， 其特征在于， 所述托承结构还包括设置在所述第 一 立板与所述托承板之间的第一延展板和设置在所述第二立板与所述托承板之间的第二延 展板； 所述第一延展板包括与所述第一立板连接的第一固定部和自所述第一固定部朝向所 述第二立板延伸形成的第一悬 空部； 所述第二延展板包括与所述第二立板连接的第二固定 部和自所述第二固定 部朝向所述第一 立板延伸形成的第二悬空部 。 10.一种检测设备， 其特征在于， 所述检测设备包括如权利要求1 ‑9中任一项所述的托 承结构。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217561343 U 2托承结构及检测设 备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及IC料 条检测的技 术领域， 尤其涉及一种托承结构及检测设备。 背景技术 [0002]IC(integrated  circuit， 译为集成电路)料条是一种精密的集成电路元件， 其内 部布置有密密麻麻的电路， 且厚度在1mm以内， 最薄可达到0.1mm， 因此， IC料条非常柔软， 且 容易变形。 [0003]在对IC料条进行检测时， 由于IC料条的柔软性， 不方便改变IC料条的检测距离； 同 时， 由于IC料条容易变形， 严重影响了视觉检测的判定。 因此， 检测距离的不便调节和视觉 检测的误判会导 致了IC料 条的检测精度降低。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种托承结构及检测设备， 以解决现有技术中因检测 距离的不便调节、 视 觉检测的误判而导 致IC料条的检测精度降低的技 术问题。 [0005]第一方面， 本实用新型提供了一种托承结构， 所述 托承结构包括： [0006]托承板， 所述托承板形成有托承平面和吸附孔， 所述托承平面用于放置料条， 所述 吸附孔贯穿所述托承平面， 所述吸附孔用于吸平料 条； [0007]升降组件， 所述升降组件与所述托承板连接， 所述升降组件用于驱动所述托承板 作升降运动。 [0008]作为本实用新型的一个实施例， 所述吸附孔为若干个， 若干个所述吸附孔呈矩阵 排列。 [0009]作为本实用新型的一个实施例， 所述升降组件包括驱动件和升降架， 所述驱动件 的动力输出端与所述升降架连接， 所述升降架与所述 托承板的两端连接 。 [0010]作为本实用新型的一个实施例， 所述升降架包括第一立板、 第二立板以及连接板， 所述第一立板的一端与所述托承板的一端连接， 所述第一立板的另一端与所述连接板的一 端连接， 所述第二立板的一端与所述托承板的另一端连接， 所述第二立板的另一端与所述 连接板的另一端连接； 所述连接 板与所述驱动件的动力输出端连接 。 [0011]作为本实用新型的一个实施例， 所述托承结构还包括第一导向组件和第二导向组 件， 所述第一导向组件与所述第一立板连接， 所述第一导向组件用于对所述第一立板的运 动进行导向； 所述第二导向组件与所述第二立板连接， 所述第二导向组件用于对所述第二 立板的运动进行导向。 [0012]作为本实用新型的一个实施例， 所述第一导向组件包括第一交叉滚珠导轨和第一 导轨安装座， 所述第一交叉滚珠导轨与所述第一立板固定， 所述第一导轨安装座与所述第 一交叉滚珠导轨滑动连接； [0013]所述第二导向组件包括第二交叉滚珠导轨和第二导轨安装座， 所述第二交叉滚珠 导轨与所述第二 立板固定， 所述第二 导轨安装座与所述第二交叉滚珠导轨滑动连接 。说　明　书 1/5 页 3 CN 217561343 U 3