(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221903213.1 (22)申请日 2022.07.23 (73)专利权人 江阴市华拓芯片测试有限公司 地址 214400 江苏省无锡市江阴市徐霞客 镇峭岐迎宾大道10号 (72)发明人 江静　包峰　 (51)Int.Cl. G01N 21/88(2006.01) G01N 21/01(2006.01) (54)实用新型名称 晶圆上目标缺陷的快速 筛查装置 (57)摘要 本实用新型涉及晶圆速筛查装置技术领域， 且公开了晶圆上目标缺陷的快速筛查装置， 包括 筛查装置主体， 所述筛查装置主体的上端设置有 连接底座， 所述连接底座的上端外表 面固定连接 有活动臂， 所述活动臂的上端外表 面固定连接有 探照器， 所述筛查装置主体上设置有调节组件， 所述调节组件包括移动把手、 支撑柱以及调节结 构， 晶圆上目标缺陷的快速筛查装置， 方便使用， 区别于传统的筛查装置， 该筛查装置上放置晶圆 的活动支撑板是可以进行角度调节的， 只需要通 过将固定钩板于不同的固定柱固定连接， 就能通 过第一转轴实现对活动支撑板的角度调节， 这样 工作人员在使用时， 不需要长时间的低头进行操 作， 极大程度上保护了 工作人员的身体 。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 217655027 U 2022.10.25 CN 217655027 U 1.晶圆上目标缺陷的快速筛查装置， 包括筛查装置主体(1)， 所述筛查装置主体(1)的 上端设置有 连接底座(2)， 所述连接底 座(2)的上端外表 面固定连接有活动臂(3)， 所述活动 臂(3)的上端外表面固定连接有探照器(4)， 其特征在于： 所述筛查装置主体(1)上设置有调 节组件； 所述调节组件包括移动把手(5)、 支撑柱(6)以及调节结构， 所述移动把手(5)固定连接 在探照器(4)的外壁， 所述支撑柱(6)固定连接在筛查装置主体(1)的下端， 所述调节结构设 置在筛查装置主体(1)上。 2.根据权利要求1所述的晶圆上目标缺陷的快速筛查装置， 其特征在于： 所述调节结构 为： 第一转轴(7)、 活动支撑板(8)、 橡胶垫(9)、 固定块(10)、 活动柱(11)、 半弧固定圈(12)、 海绵垫(13)、 第一横板(14)、 固定钩板(15)、 第一凹槽(16)、 第一弹簧(17)、 限位板(18)、 第 二凹槽(19)、 第一转动柱(20)、 第一竖板(21)、 第三凹槽(22)以及固定柱(24)， 所述筛查装 置主体(1)的前端外表面与第一 转轴(7)的外壁固定连接 。 3.根据权利要求2所述的晶圆上目标缺陷的快速筛查装置， 其特征在于： 所述第 一转轴 (7)的外壁与活动支撑板(8)的前端外表面固定连接， 所述活动支撑板(8)的上端外表面与 橡胶垫(9)的下端外表 面固定连接， 所述活动支撑板(8)的上端外表 面与固定块(10)的下端 外表面固定连接 。 4.根据权利要求2所述的晶圆上目标缺陷的快速筛查装置， 其特征在于： 所述固定块 (10)的右侧开设有第一凹槽(16)， 所述第一凹槽(16)的左侧内表面与第一弹簧(17)的左端 固定连接， 所述第一弹簧(17)的右端与限位板(18)的左侧外表面固定连接， 所述限位板 (18)的右侧外表面与活动柱(1 1)的左侧外表面固定连接 。 5.根据权利要求2所述的晶圆上目标缺陷的快速筛查装置， 其特征在于： 所述活动柱 (11)的右侧外表 面与半弧固定圈(12)的左侧外表 面固定连接， 所述半弧固定圈(12)的右侧 外表面与海绵垫(13)的左侧外表面固定连接， 所述活动支撑板(8)的前端外表面与第一横 板(14)的后端外表面固定连接 。 6.根据权利要求2所述的晶圆上目标缺陷的快速筛查装置， 其特征在于： 所述第 一横板 (14)的下端开设有第二凹槽(19)， 所述第二凹槽(19)的左侧内表面与第一转动柱(20)的外 壁转动连接， 所述第一 转动柱(20)的外壁与固定钩板(15)的上端外表面固定连接 。 7.根据权利要求2所述的晶圆上目标缺陷的快速筛查装置， 其特征在于： 所述筛查装置 主体(1)的下端外表面与第一竖板(21)的上端外表面固定连接， 所述第一竖板(21)的前端 开设有第三凹槽(2 2)。 8.根据权利要求2所述的晶圆上目标缺陷的快速筛查装置， 其特征在于： 所述第 三凹槽 (22)的左侧内表 面与固定柱(24)的左侧外表面固定连接， 所述固定钩板(15)与固定柱(24) 相适配。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217655027 U 2晶圆上目标缺陷的快速筛查 装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及晶圆速筛查装置技术领域， 具体为晶圆上目标缺陷的快速筛查装 置。 背景技术 [0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅 晶片， 其原始材料是硅， 高纯度的多晶硅溶 解后掺入硅晶体晶种， 然后慢慢拉出， 形成圆柱形的单晶硅， 硅晶棒在经过研磨， 抛光， 切片 后， 形成硅晶圆片， 也就是晶圆， 国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主， 晶圆的主要加工方 式为片加工和批加工， 即 同时加工1片或多片晶圆， 随着半导体特征尺寸越来越小， 加工及 测量设备越来越先进， 使得晶圆加工出现了新的数据特点， 同时， 特征尺寸的减小， 使得晶 圆加工时， 空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大， 而随着洁净的提高， 颗 粒数也出现了新的数据特点， 半导体工业对于晶圆表面缺陷检测的要求， 一般是要求高效 准确， 能够捕捉有效缺陷， 实现实时检测。 较为普遍的表面检测技术主要可以分为两大类： 针接触法和非接触法， 接触法以针触法为代表； 非接触法又可以分为原子力法和光学法。 在 具体使用时， 又可以分为成像的和非成像的， 晶圆有时会不可避免的有着缺陷， 这时就需要 使用到相关的筛查装置进行检查。 [0003]现有技术存在以下不足： 现有的快速筛查装置， 不方便使用， 工作人员在筛查过程 中需要长期低头进行操作， 对工作人员的身体有一定的损伤。 [0004]因此， 发明晶圆上目标缺陷的快速 筛查装置 很有必要。 实用新型内容 [0005]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了 晶圆上目标缺陷的快速筛查装置， 具备 方便使用的优点， 解决了不方便使用的问题。 [0006]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 晶圆上目标缺陷的快速筛查装 置， 包括筛查装置主体， 所述筛查装置主体的上端设置有连接底座， 所述连接底座的上端外 表面固定连接有活动臂， 所述活动臂的上端外表面固定连接有探照器， 所述筛查装置主体 上设置有调节组件， 所述调节组件包括移动把手、 支撑柱以及调节结构， 所述移动把手固定 连接在探照器的外壁， 所述支撑柱固定连接在筛查装置主体的下端， 所述调节结构设置在 筛查装置主体上。 [0007]优选的， 所述调节 结构为： 第一转轴、 活动 支撑板、 橡胶垫、 固定块、 活动 柱、 半弧固 定圈、 海绵垫、 第一横 板、 固定钩板、 第一凹槽、 第一 弹簧、 限位板、 第二凹槽、 第一转动柱、 第 一竖板、 第三凹槽以及固定柱， 所述筛查装置主体的前端外表面于第一转轴的外壁固定连 接。 [0008]优选的， 所述第一转轴的外壁于活动支撑板 的前端外表面固定连接， 所述活动支 撑板的上端外表面与橡胶垫的下端外表面固定连接， 所述活动支撑板的上端外表面于固定 块的下端外表面固定连接 。说　明　书 1/3 页 3 CN 217655027 U 3