(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210666448.1 (22)申请日 2022.06.14 (71)申请人 瑞鼎机电科技 （昆山） 有限公司 地址 215000 江苏省苏州市昆山市陆家镇 金阳东路1168号 (72)发明人 张大伟　赵晓栋　吴剑政　黄晓斌　 (74)专利代理 机构 北京维正专利代理有限公司 11508 专利代理师 庄博强 (51)Int.Cl. C23C 14/34(2006.01) C23C 14/56(2006.01) B08B 1/00(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 3/08(2006.01) (54)发明名称 一种PVD镀膜加工设备 (57)摘要 本申请涉及真空镀膜加工技术领域， 尤其是 涉及一种PVD镀膜加工设备， 旨在解决现有技术 沉积在镀膜机内壁上的镀膜材料可能对其他被 镀元件的镀膜加工造成污染的问题， 其技术方案 是一种PVD镀膜加工设备， 包括用于容纳被镀工 件进行镀膜加工的镀膜仓， 镀膜仓的内侧壁上设 有定轴， 定轴之间架设有传动轴， 定轴上设有驱 动装置， 传动轴上设有防污帘， 防污帘受控于传 动轴， 镀膜仓的内侧壁上还设有清洁装置， 清洁 装置包括清洁刮片， 清洁刮片抵触于防污帘设 置， 加工设备还包括控制器， 控制器与驱动装置 信号连接， 且控制器被配置为在接收到被镀工件 加工完成的信号后， 控制驱动装置开启以使防污 帘传输更换， 本申请具有提高镀膜机的产品加工 质量的效果。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 114959603 A 2022.08.30 CN 114959603 A 1.一种PVD镀膜加工设备， 其特征在于： 包括用于容纳被镀工件进行镀膜加工的镀膜仓 (1)， 所述镀膜仓(1)的内侧壁上设有定轴(2)， 所述定轴(2)之间架设有传动轴(3)， 所述定 轴(2)上设有用于驱动所述传动轴(3)旋转的驱动装置(4)， 所述传动轴(3)上设有用于遮挡 所述镀膜仓(1)内侧壁的防污帘(5)， 所述防污帘(5)受控于所述传动轴(3)， 所述镀膜仓(1) 的内侧壁上还设有清洁装置(6)， 所述清洁装置(6)包括清洁刮片(61)， 所述清洁刮片(61) 抵触于所述防污帘(5)设置， 所述加工设备还包括控制器(7)， 所述控制器(7)与所述 驱动装 置(4)信号连接， 且所述控制器(7)被配置为在接收到所述被镀工件加 工完成的信号后， 控 制所述驱动装置(4)开启以使所述防污帘(5)传输更 换。 2.根据权利 要求1所述的一种PVD镀膜加工设备， 其特征在于： 所述防污帘(5)远离所述 镀膜仓(1)内侧壁的一 面在所述传动轴(3)的驱动下自上向下输送。 3.根据权利 要求2所述的一种PVD镀膜加工设备， 其特征在于： 所述清洁装置(6)设于所 述镀膜仓(1)的底部， 所述清洁刮片(61)向远离所述镀膜仓(1)的内侧壁方向倾 斜。 4.根据权利 要求3所述的一种PVD镀膜加工设备， 其特征在于： 所述清洁装置(6)还包括 安装座(62)， 所述 安装座(62)与所述清洁刮片(61)之间可拆卸连接 。 5.根据权利 要求4所述的一种PVD镀膜加工设备， 其特征在于： 所述清洁装置(6)还包括 罩设于所述清洁刮片(61)与所述防污帘(5)抵触部位外的格挡罩(63)， 所述格挡罩(63)可 拆卸安装于所述 安装座(62)上。 6.根据权利 要求1所述的一种PVD镀膜加工设备， 其特征在于： 所述清洁装置(6)还包括 清洁刷(65)以及清洁喷头组件(64)， 所述清洁刷(65)以及清洁喷头组件(64)设于镀膜仓 (1)的内侧壁与所述防污帘(5)之间。 7.根据权利要求6所述的一种PVD镀膜加工设备， 其特征在于： 所述清洁喷头组件(64) 至少包括清洁剂喷头(641)以及水洗喷头(642)。 8.根据权利要求6所述的一种PVD镀膜加工设备， 其特征在于： 所述清洁喷头组件(64) 包括增压喷 嘴(643)。 9.根据权利 要求1所述的一种PVD镀膜加工设备， 其特征在于： 所述镀膜仓(1)的底部设 有排污孔(8)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114959603 A 2一种PVD镀膜加工设 备 技术领域 [0001]本申请涉及真空镀膜加工技 术领域， 尤其是 涉及一种PVD镀膜加工设备。 背景技术 [0002]PVD即物理气相沉积， PVD镀膜是指在真空条件下采用物理方法将材料源 （固体或 液体） 表面气化成气态原子或分子， 或部分电离成离子， 并通过低压气体过程， 在基体表面 沉积具有某种 特殊功能的薄膜的技术。 物理气相沉积是主要的表面处理技术之一， 具有沉 积速度快和表面清洁的特点， 特别具有膜层附着力强、 绕性好、 可镀材料广泛等优点。 真空 镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行 的镀膜的机器， 工作原理包括真空离子蒸发， 磁控溅射， MBE分子束外延， PLD激光溅射 沉积等很多种， 主 要思路是分成蒸发和溅射两种。 [0003]目前， 在真空镀膜的过程中， 镀膜机利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化， 在气体离 子或被蒸发物质离 子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基材 上。 [0004]针对上述中的相关技 术， 发明人发现上述 技术存在有以下技 术缺陷： 在真空镀膜的过程中， 由镀膜源发出的镀膜材料被沉积到被镀元件的同时， 也会 同时溅射到镀膜机的内壁上， 沉积在镀膜机内壁上的镀膜材料可能对其他被镀元件的镀膜 加工造成污染， 导 致被镀产品质量下降。 发明内容 [0005]为了降低镀膜加工过程中向镀膜机内壁溅射的镀膜材料对被镀产品造成污染， 提 高镀膜机的产品加工质量， 本申请提供一种PVD镀膜加工设备。 [0006]本申请提供的一种PVD镀膜加工设备采用如下的技 术方案： 一种PVD镀膜加工设备， 包括用于容纳 被镀工件进行镀膜加工的镀膜仓， 所述镀膜 仓的内侧 壁上设有定轴， 所述定轴之间架设有传动轴， 所述定轴 上设有用于驱动所述传动 轴旋转的驱动装置， 所述传动轴 上设有用于遮挡 所述镀膜仓内侧 壁的防污帘， 所述防污帘 受控于所述传动轴， 所述镀膜仓的内侧壁上还设有清洁装置， 所述清洁装置包括清洁刮片， 所述清洁刮片抵触于所述防污帘设置， 所述加工设备还包括控制器， 所述控制 器与所述驱 动装置信号连接， 且所述控制器被配置为在接 收到所述被镀工件加工完成的信号后， 控制 所述驱动装置开启以使所述防污帘传输更 换。 [0007]通过采用上述技术方案， 在镀膜仓 的内侧壁上设置 由传动轴驱动的防污帘， 防污 帘遮挡住镀膜仓的内侧壁， 从而使得在镀膜加工的过程中溅射出的镀膜材料得以被防污帘 遮挡而不是直接溅射在镀膜仓的内侧 壁上， 镀膜材料溅射到防污帘上后， 在被镀产品加工 完成后， 通过控制器可以使得传动轴旋转从而使得干净的防污帘被输送到靠近被镀工件一 侧， 有助于降低镀膜仓内壁污染产品的可能性， 此外在输送的过程中清洁装置对防污帘进 行清洁， 有助于实现防污帘的循环实用， 降低镀膜材 料在防污帘上残余的可能性。 [0008]在一个具体的可实施方式中， 所述防污帘远离所述镀膜仓内侧壁的一面在所述传 动轴的驱动下自上向下输送。说　明　书 1/4 页 3 CN 114959603 A 3