(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210828946.1 (22)申请日 2022.07.15 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 115020302 A (43)申请公布日 2022.09.06 (73)专利权人 江苏芯梦半导体设备有限公司 地址 215168 江苏省苏州市吴中经济开发 区南湖路6 6号8幢101室 (72)发明人 廖周芳　邵树宝　夏晓红　赖国繁　 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) H01L 21/677(2006.01) B08B 3/02(2006.01) F26B 5/04(2006.01) F26B 21/14(2006.01)F26B 23/00(2006.01) (56)对比文件 CN 113130347 A,2021.07.16 CN 112916502 A,2021.0 6.08 CN 114194776 A,202 2.03.18 CN 210575861 U,2020.0 5.19 US 2001047812 A1,20 01.12.06 CN 113578900 A,2021.1 1.02 审查员 韩增智 (54)发明名称 一种晶圆存放盒的清洗烘干设备及清洗烘 干方法 (57)摘要 本发明公开了一种晶圆存放盒的清洗烘干 设备及清洗烘干方法， 清洗烘干设备包括机架、 机械手、 上料装置、 清洗装置、 烘干装置和下料装 置， 清洗装置和烘干装置上分别设置相应的旋钮 机构和定位机构， 可以在将晶圆存放盒进行清洗 和烘干时， 将晶圆存放盒的盖子和盒体分开， 使 二者相对独立不盖合， 可以对盒体和盖子进行充 分的清洗和烘干， 保证清洁程度， 同时晶圆存放 盒烘干过程中通过提高氮气环境， 并在真空环境 下， 可以降低液体沸点， 提高烘干效率， 避免缝隙 中水分残留， 具有 优异的烘干效果。 权利要求书2页 说明书7页 附图10页 CN 115020302 B 2022.10.14 CN 115020302 B 1.一种晶圆存放盒的清洗烘干设备， 包括机架和机 械手， 其特 征在于， 还 包括： 上料装置， 用于晶圆存放盒的上 料， 并经机 械手移料至清洗装置； 清洗装置， 包括桶体和第一盖体， 所述桶体内设有喷淋管， 所述桶体内的下部设有料 盘， 所述第一盖体铰接于桶体上， 所述第一盖体上设有第一定位机构和第一旋钮机构， 所述 第一旋钮机构伸入被所述机械手夹持的晶圆存放盒的盖子的旋钮孔内旋转， 用于解锁盖子 使盖子脱离盒体， 所述第一定位机构 固定脱离盒体后的盖子， 所述机械手将盒体倒扣于所 述料盘上； 烘干装置， 包括壳体和第 二盖体， 所述壳体 内设有加热器， 所述壳体上设有进气口和出 气口， 所述第二盖体铰接于壳体上， 所述第二盖体上设有第二定位机构和 第二旋钮机构， 所 述第二旋钮机构伸入被所述机械手夹持的晶圆存放盒的盖子上的旋钮孔内旋转用于解锁 盖子使盖子脱离盒体， 所述第二定位机构固定 盖子， 所述机 械手将盒体放置 于壳体内； 下料装置， 用于将经机 械手从烘干装置移取的 晶圆存放盒下 料。 2.根据权利要求1所述的晶圆存放盒的清洗烘干设备， 其特征在于， 所述第 一定位机构 包括定位盘和第一真空吸嘴， 所述第一真空吸嘴安装于定位盘上； 所述定位盘上安装有第 一限位块。 3.根据权利要求2所述的晶圆存放盒的清洗烘干设备， 其特征在于， 所述料盘和定位盘 分别可转动的安装于桶体和第一盖体上， 所述桶体外和第一盖体上分别设有第一旋转电机 和第二旋转电机， 所述第一旋转电机的输出轴与所述料盘相连， 所述第二旋转电机的输出 轴与所述定位盘相连。 4.根据权利要求3所述的晶圆存放盒的清洗烘干设备， 其特征在于， 所述第 一旋钮机构 包括升降气缸、 旋转气缸、 轴承座、 轴承和第一旋钮， 所述轴承座安装于第一盖体上， 所述轴 承安装于轴承座内， 所述轴承内可升降且可同步转动的设有导杆， 所述导杆一端穿过第一 盖体后连接有第一旋钮， 所述导杆另一端与升降气缸输出端相连， 所述旋转气缸 的输出端 设有主动轮， 所述主动轮通过同步带与固定 于轴承外壁的从动轮传动相连。 5.根据权利要求4所述的晶圆存放盒的清洗烘干设备， 其特征在于， 所述定位盘上设有 通孔， 所述第一旋钮经升降气缸驱动穿过 所述通孔。 6.根据权利要求1所述的晶圆存放盒的清洗烘干设备， 其特征在于， 所述第 二定位机构 包括设置于第二盖体上的夹爪和 第二真空吸嘴， 所述夹爪与第二盖体上的定位气缸的输出 端相连； 所述第二盖体上安装有第二限位 块。 7.根据权利要求1所述的晶圆存放盒的清洗烘干设备， 其特征在于， 所述上料装置包括 第一前支架和第一后支架， 所述第一前支架和第一后支架的下方设有第一电缸， 所述第一 电缸上设有第一顶升气缸， 所述第一顶升气缸上设有第一托架； 所述第一后支架上安装有 称重感应 器。 8.根据权利要求1所述的晶圆存放盒的清洗烘干设备， 其特征在于， 所述下料装置包括 第二前支架和第二后支架， 所述第二前支架和第二后支架的下方设有第二电缸， 所述第二 电缸上设有第二顶升气缸， 所述第二顶升气缸上设有第二托架； 所述第二后支架上设有氮 气充气机构用于对晶圆存放盒内冲入氮气。 9.一种根据权利要求1至8任意一项所述的晶圆存放盒的清洗烘干设备的清洗烘干方 法， 其特征在于， 包括如下步骤：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115020302 B 2S1、 晶圆存放盒经 上料装置上 料， 并被机 械手移料至清洗装置； S2、 第一盖体上的第一旋钮机构伸入盖子的旋钮孔后旋转， 解锁盖子使盖子脱离盒体， 第一定位机构固定脱离盒体后的盖子， 机械手将盒体倒扣于料盘上， 第一盖体闭合桶体， 喷 淋管对盒体和盖 子进行清洗和吹干； S3、 第一盖体打开， 机械手夹取盒体抵接于盖子上， 第一盖体上的第一旋钮机构伸入盖 子的旋钮孔后旋转， 使盖子锁合于盒体上， 第一旋钮机构复位， 第一定位机构释放盖子， 机 械手夹取晶圆存放盒至烘干装置； S4、 第二盖体上的第二旋钮机构伸入盖子的旋钮孔后旋转， 解锁并定位盖子， 第二定位 机构固定盖子， 机械手将盒体放置于壳体内， 第二盖体盖合壳体， 抽气并通氮气， 加热器对 盒体和盖 子进行加热， 直至盒体和盖 子干燥； S5、 第二盖体打开， 机械手夹取盒体并将 盒体抵接于盖子上， 第二旋钮机构伸入盖子的 旋钮孔内旋转， 使盖子锁合于盒体上， 第二定位机构释放盖子， 机械手夹取晶圆存放盒至下 料装置； S6、 下料装置对晶圆存放盒内冲入氮气， 并下 料。 10.根据权利要求9所述的晶圆存放盒的清洗烘干设备的清洗烘干方法， 其特征在于， 步骤S4中第二盖体盖合壳体后进行抽气， 直到壳体内压力维持在500 ‑1800Pa， 并以2 ‑5升/ 分的流速向壳体内充入氮气， 通过温湿度传感器检测盒体和盖子的干燥程度； 彻底干燥后， 停止抽气， 并以50 ‑100升/分的流速向壳体内充入氮气， 使壳体内的压力恢复到标准大气 压。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115020302 B 3