(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202211015197.7 (22)申请日 2022.08.23 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 115069719 A (43)申请公布日 2022.09.20 (73)专利权人 智程半导体设备 科技 （昆山） 有限 公司 地址 215300 江苏省苏州市昆山市玉山 镇 玉杨路299号3号房 (72)发明人 赵天翔　杨仕品　华斌　 (74)专利代理 机构 苏州企航知识产权代理事务 所(普通合伙) 32354 专利代理师 朱丹 (51)Int.Cl. B08B 15/04(2006.01)B08B 3/02(2006.01) 审查员 王坤 (54)发明名称 一种气流增强型 单片式方形基 板清洗设备 (57)摘要 本发明提出了一种气流增强型单片式方形 基板清洗设备， 包括旋转载台、 摆臂单元， 还包括 位于所述旋转载台外部的腔体单元， 所述腔体单 元包括进气口和位于腔体单元内的至少一层导 流板结构， 导流板结构的斜挡板能够将气流导向 至环形槽周围的排气口内， 并从环形槽侧边的抽 风口排出， 尽可能的将晶圆上表 面的药液气体排 出， 晶圆下表 面的药液则通过在控制台粗柱以及 细柱的内壁 设置出气口， 能够减少晶圆下表面产 生的气体涡流。 权利要求书2页 说明书8页 附图19页 CN 115069719 B 2022.11.22 CN 115069719 B 1.一种气流增强型单片式方形基板清洗设备， 包括旋转载台(1)、 摆臂单元(2)， 其特征 在于， 还包括 位于所述旋转载台(1)外部的腔体单元(3)， 所述腔体单元(3)包括进气口和位于腔体 单元(3)内的至少一层导流板结构(4)， 所述导流板结构(4)包括环形槽(5)， 所述环形槽(5) 内圈环形设置有竖直挡板(6)， 所述竖直挡板(6)上一体成型有斜挡板(7)， 所述斜挡板(7) 顶部向上倾斜， 所述斜挡板(7)下部竖直设置有环形挡液条(8)； 所述竖直挡板(6)上均匀设 置有排气口(10)， 用于将清洗气液向环形槽(5)导入； 所述环形槽(5)侧壁设有抽风口(9)； 腔体单元(3)底部设有安装孔并连通有旋转单元外罩(11)， 所述旋转单元外罩(11)上 部设有中空旋转轴(12)， 所述中空旋转轴(12)与所述旋转载台(1)连接， 所述旋转载台(1) 位于所述 导流板结构(4)的内圈侧， 所述旋转单元外罩(11)内壁排列设置有若干第一进气孔(13)， 向所述旋转单元外罩 (11)内进气， 气流经过所述第一进气孔(13)流至旋转单元外罩 （11） 外部， 用于减少基板下 方的涡流； 所述腔体单 元(3)底部设有至少一 排液管(14)。 2.根据权利要求1所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述导流 板结构(4)包括 三层， 并叠 置于腔体单 元(3)内。 3.根据权利要求1所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述斜挡 板(7)一体成型于所述竖直挡板(6)的顶部 。 4.根据权利要求1或3所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述 斜挡板(7)连接于所述竖直挡板(6)的顶部以下， 并与所述竖直挡板(6)形成集液槽(15)， 所 述集液槽(15)内设有至少一导液孔(16)， 所述导液孔(16)与所述排液管(14)之间连接有导 流管(17)。 5.根据权利要求1或2所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述 环形槽(5)外圈环形设置有外挡板， 所述外挡板和竖直挡板(6)口部 设有水平部(18)和楔 形 部(19)， 使上 下叠置的导流板结构(4)实现密封配合。 6.根据权利要求1所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述腔体 单元(3)包括上壳体(20)和下壳体(21)， 所述上壳体(20)和下壳体(21)圆周排列 设置有支 撑杆 （23） ， 所述支撑杆 （23） 用于连接所述上壳体(20)和下壳体(21)， 所述下壳体(21)为锥 形， 用于将药 液导向排液 管(14)。 7.根据权利要求2所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述腔体 单元(3)底部设有镂空固定架(22)， 所述旋转单元外罩(11)口部与所述镂空固定架(22)连 接。 8.根据权利要求1所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述旋转 载台(1)包括承 载板(24)， 所述承 载板(24)上部设有若干真空吸盘(25)， 所述承 载板(24)下 部连接有驱动电机 （26） ， 所述驱动电机 （26） 位于所述旋转单 元外罩(1 1)内。 9.根据权利要求8所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述驱动 电机 （26） 为空心轴电机， 所述空心轴电机的输出端穿过有喷液管(27)， 并连接有药液背喷 口(28)， 所述药 液背喷口(28)连接 于所述承载板(24)上。 10.根据权利要求8所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述承权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115069719 B 2载板(24)周围固定连接有安装框(29)， 所述安装框(29)上设有弧形板 （31） ， 所述安装框的 一边上转动连接有至少两个翻转块(30)， 所述翻转块(30)一端位于承载板 （24） 上部， 另一 端位于所述弧形板 （31） 下部， 所述弧形板 （31） 下部设有限位块 （50） ， 所述限位块 （50） 用于 限制翻转 块转动的距离 。 11.根据权利要求8所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述旋 转单元外罩(11)内设有第一顶升机构， 所述第一顶升机构用于控制基板升降， 包括穿过所 述承载板(24)底部的若干顶片PIN针(34)， 顶片PIN针(34)连接于顶升架(33)上， 所述顶升 架(33)固定于顶升气缸(32)上， 所述顶升气缸(32)推动所述顶片 PIN针(34)同步升降。 12.根据权利要求1或8所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述 旋转载台(1)下部设有第二顶升机构(44)， 所述第二顶升机构(44)用于带动腔体单元(3)整 体升降。 13.根据权利要求12所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述第 二顶升机构(44)包括支撑座(35)， 所述支撑座(35)上固定连接有减速机机构(36)， 所述减 速机机构(36)输出端 连接有横向传动轴(37)， 所述横向传动轴(37)两端通过联轴器分别连 接有纵向传动轴(38)， 所述纵向传动轴(38)两端分别通过转向器连接有竖直丝杆(39)， 所 有所述竖直丝杆(39)与所述腔体单 元(3)底部连接 。 14.根据权利要求13所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述第 二顶升机构(44)与所述腔体单 元(3)之间设有风琴罩(40)。 15.根据权利要求1所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述中 空旋转轴(12)内壁设有 若干第二进气孔 （51） 。 16.根据权利要求1所述的气流增强型单片式方形基板清洗设备， 其特征在于， 所述摆 臂单元(2)包括固定于所述旋转载台(1)侧边的升降模组(43)， 所述升降模组(43)的滑 块上 连接有伺服电机(41)， 所述伺服电机(41)输出端连接有进液管和进气管， 所述进液管端部 和进气管端部分别连接有 若干高压喷头(42)。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115069719 B 3