(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122870124.3 (22)申请日 2021.11.22 (73)专利权人 深圳市伙 伴气动精密机 械有限公 司 地址 518000 广东省深圳市宝安区松岗街 道潭头社区西部 工业园区B45 栋厂房 (72)发明人 虞儒杨　齐志林　王冶　 (74)专利代理 机构 深圳市深弘广联知识产权代 理事务所(普通 合伙) 44449 代理人 洪娟 (51)Int.Cl. G01N 21/84(2006.01) G01N 21/01(2006.01) G02B 21/26(2006.01) G02B 21/00(2006.01) (54)实用新型名称 支持补偿位移阻尼值的基 板外观检查装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种支持补偿位移阻尼 值的基板外观检查装置， 位移装置中设置有抱夹 螺母， 抱夹螺母设有凹槽且抱夹螺母分成第一分 螺母和第二分螺母， 第一分螺母设有收紧孔， 收 紧孔搭配机米螺丝与第二分螺母进行相抵， 通过 机米螺丝的拧入深度改变抱夹螺母的丝牙与丝 杆的之间接触面积， 补偿了因机械磨损产生的微 小缝隙而降低的阻尼值， 进而解决现有中因长时 间的使用位移机构无法精准驻停的问题， 搭配显 微镜机构进行使用， 可对基板检测区域的进行准 确调整。 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 CN 216386806 U 2022.04.26 CN 216386806 U 1.一种支持补偿位移阻尼值的基板外观检查装置， 用于检测基板外观， 其特征在于， 包 括位移机构与显微镜机构， 显微镜机构装载在位移机构上； 显微镜机构包括有显微镜主体 和光源装置， 光源装置和显微镜主体通过球铰进行连接； 显微镜主体的两端内置有搭配使 用的目镜和物镜， 目镜和物镜位于同一光路上； 位移机构包括底座、 平台和丝杆， 底座与平 台围合而成 内腔， 平台与底座活动连接， 内腔容置有 连接于电机的丝杆， 丝杆远离电机的一 端设置有抱夹螺母， 抱夹螺母设有凹槽， 凹槽将抱夹螺母分成第一分螺母和第二分螺母， 抱 夹螺母通过机米螺 丝往第一分螺母拧入深度改变阻尼值。 2.根据权利要求1所述的支持补偿位移阻尼值的基板外观检查装置， 其特征在于， 平台 远离底座的一面设有多个安装孔， 显微镜机构和平台通过安装孔进行固定连接； 抱夹螺母 朝向平台的一 面设有固定孔， 平台和抱 夹螺母通过固定孔进行固定连接 。 3.根据权利要求2所述的支持补偿位移阻尼值的基板外观检查装置， 其特征在于， 内腔 的两侧设有滑轨， 平台和底座 通过滑轨进行滑动连接 。 4.根据权利要求3所述的支持补偿位移阻尼值的基板外观检查装置， 其特征在于， 平台 与滑轨之间设有滚珠与将滚珠固定的限位板 。 5.根据权利要求1所述的支持补偿位移阻尼值的基板外观检查装置， 其特征在于， 第 一 分螺母设有收紧孔， 收紧孔贯穿于第一分螺母； 机米螺丝通过收紧孔与第一分螺母连接， 且 延伸至第二分螺母并与第二分螺母相抵 接。 6.根据权利要求1所述的支持补偿位移阻尼值的基板外观检查装置， 其特征在于， 电机 与底座之间还设置有承接机构， 承接机构包括依次连接的底座固定架、 轴承、 轴承螺母、 联 轴器和电机固定架； 底座固定架设有容置轴承的放置孔， 轴承与轴承螺母贴合连接于丝杆 上； 丝杆通过 联轴器与电机的转动轴固定连接 。 7.根据权利要求6所述的支持补偿位移阻尼值的基板外观检查装置， 其特征在于， 底座 固定架于电机固定架之 间还设置有固定杆， 底座固定架和电机固定架通过固定杆进行加固 连接。 8.根据权利要求1所述的支持补偿位移阻尼值的基板外观检查装置， 其特征在于， 底座 的侧边还包括有主控机构， 主控机构包括罩板、 控制板与传感器， 罩板与平台 围合收纳控制 板和传感器， 传感器包括感应门和感应片， 感应片与平台固定连接， 感应门安装于控制板， 且与控制板电信号连接 。 9.根据权利要求1所述的支持补偿位移阻尼值的基板外观检查装置， 其特征在于， 显微 镜主体的表面设有凸台， 凸台的中心设有容置球铰的凹位； 凸台的台身相对两侧设置有限 位单元和定位单元， 球铰与限位单元相 抵接实现对光源装置的限位； 单位单元包括匹配连 接的定位孔和定位条， 定位孔从凸台的台身外侧 贯穿连通至凹位， 球链通过定位条 的拧入 深度变化对球链进行锁止或活动。 10.根据权利要求1所述的支持补偿位移阻尼值的基板外观检查装置， 其特征在于， 显 微镜主体还设置与外 部显示端无线连接的传输 机构， 传输 机构位于 显微镜主体的外侧。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216386806 U 2支持补偿位移阻尼值的基板外观检查 装置 技术领域 [0001]本实用新型属于显微镜移动装置领域， 具体为一种支持补偿阻尼值的基板检测装 置。 背景技术 [0002]集成电路基板随着半导材料的开发与完善得到了飞速的发展， 且 成为世界大国衡 量科技研发能力的 的核心领域； [0003]在对安装有半导体元件的基板进行外观检查是在生产以及出口中不可或缺的一 环， 现有技术中， 通过显微镜对装有半导体的基板的外观进 行检测， 为了对显微镜进 行精确 移动， 在可进行高精度移动的位移装置上安装显微镜， 使得对基板的做出不同区域的外观 检查， 但在位移装置搭载显微镜进行移动时， 会因为往复运动的导致关键部位产生磨损消 耗， 导致阻尼值减少而 无法精准驻停， 进而影响显微镜对所需检测位置的偏 差， 该问题大多 采用更换零部件的办法实现重新矫正位移装置的驻停能力， 但是作为位移装置核心 零部件 加工精细 且价格高昂， 不利于企业的发展， 因此， 亟需要一种可有效 改善因机械磨损而导致 无法精准 驻停问题的基板检测装置 。 实用新型内容 [0004]针对上述技术中存在的不足之处， 本实用新型提供一种支持补偿位移阻尼值的基 板外观检查装置， 位移装置中设置有抱夹螺母， 抱夹螺母设有凹槽且抱夹螺母分成第一分 螺母和第二分螺母， 第一分螺母设有收紧孔， 收紧孔搭配机米螺丝与第二分螺母进 行相抵， 通过机米螺丝的拧入深度改变抱夹螺母的丝牙与丝杆的之 间接触面积， 补偿了因机械磨损 产生的微小缝隙而降低的阻尼值， 进而解决现有中因长时间的使用位移机构无法精准驻停 的问题， 搭配显微镜 机构进行使用， 可对基板检测区域的进行准确调整。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供一种支持补偿位移阻尼值的基板外观检查装 置， 用于检测基板外观， 其特征在于， 包括位移机构与显微镜机构， 显微镜机构装载在位移 机构上； 显微镜机构包括有显微镜主体和光源装置， 光源装置和显微镜主体通过球铰进行 连接； 显微镜主体的两端内置有搭配使用的目镜和物镜， 目镜和物镜位于同一光路上； 位移 机构包括底座、 平台和丝杆， 底座与平台围合而成内腔， 平台与底座活动连接， 内腔容置有 连接于电机的丝杆， 丝杆远离电机的一端设置有抱夹螺母， 抱夹螺母设有凹槽， 凹槽将 抱夹 螺母分成第一分螺母和第二分螺母， 抱夹螺母通过机米螺丝往第一分螺母拧入补偿改变阻 尼值。 [0006]作为优选， 平台远离底座的一面设有多个用于连接外部设备的安装孔， 显微镜机 构和平台通过安装孔进行固定连接； 抱夹螺母朝向平台的一面设有固定孔， 平台和抱夹螺 母通过固定孔进行固定连接 。 [0007]作为优选， 内腔的两侧设有滑轨， 平台和底座 通过滑轨进行滑动连接 。 [0008]作为优选， 平台与滑轨之间设有滚珠与将滚珠固定的限位板 。说　明　书 1/5 页 3 CN 216386806 U 3