(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122403401.X (22)申请日 2021.09.28 (73)专利权人 合肥芯测半导体有限公司 地址 230000 安徽省合肥市经济技 术开发 区云二路176号云海路工业园A栋 (72)发明人 吴灿煌　陈圣育　殷小罕　张福亮　 王金永　 (51)Int.Cl. B62B 3/04(2006.01) B62B 5/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车 (57)摘要 本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域， 且 公开了一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车， 包 括支架、 工作平台和万向轮， 所述工作平台与支 架固定连接， 所述万向轮设置于支架的底部， 所 述工作平台的顶部开设有置物槽， 所述置物槽前 后两侧的内壁均为斜面， 所述置物槽的内部设置 有隔板， 所述置物槽的内底壁开设有限制槽。 该 安全放置晶圆及晶舟盒工作推车， 通过支架、 工 作平台、 万向轮、 置物槽、 隔板、 限制槽、 限制杆、 抵紧弹簧、 滑套、 压板和第一把手之间的相互配 合， 达到了便于拿取晶圆， 降低晶元因真空吸取 失误而破碎的概率的效果， 解决了因晶元取放高 度较高， 若晶元在被吸取时意外掉落， 晶元极易 破碎的问题。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216232432 U 2022.04.08 CN 216232432 U 1.一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车， 包括支架(1)、 工作平台(2)和万向轮(3)， 所 述工作平台(2)与支架(1)固定连接， 所述万向轮(3)设置于支架(1)的底部， 其特征在于： 所 述工作平台(2)的顶部开设有置物槽(4)， 所述置物槽(4)前后两侧的内壁均为斜面， 所述置 物槽(4)的内部 设置有隔板(5)， 所述置物槽(4)的内底 壁开设有限制槽(6)， 所述限制槽(6) 的内部设置有限制杆(7)， 所述限制杆(7)的侧表面套接有抵紧弹簧(8)， 所述抵紧弹簧(8) 通过滑套(9)连接有压 板(10)， 所述压 板(10)的顶部设置有第一 把手(14)。 2.根据权利要求1所述的一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车， 其特征在于： 所述置物 槽(4)前侧内壁与竖直 面的夹角和置物槽(4)后侧内壁与竖直 面的夹角大小相同。 3.根据权利要求1所述的一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车， 其特征在于： 所述限制 杆(7)的右端与限制槽(6)右侧的内壁固定连接， 所述限制杆(7)的左端与限制槽(6)左侧的 内壁固定连接， 所述限制杆(7)位于滑套(9)的内部， 所述抵紧弹簧(8)的右端与限制槽(6) 右侧的内壁固定连接， 所述抵紧弹簧(8)的左端与滑套(9)的左端固定连接 。 4.根据权利要求1所述的一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车， 其特征在于： 所述压板 (10)的前后两侧均设置有 固定轴(11)， 所述固定轴(11)的侧表面活动套接有导轮(12)， 所 述置物槽(4)前后两侧的内壁均开设有导槽(13)， 所述 导轮(12)位于导槽(13)的内部 。 5.根据权利要求1所述的一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车， 其特征在于： 所述工作 平台(2)通过铰链连接有盖板(15)， 所述置物槽(4)的内底壁开设有进气孔(17)， 所述进气 孔(17)的内部固定连接有进气管， 所述工作平台(2)的内部设置有增压气泵(19)， 所述增压 气泵(19)的出气口连接有油水分离器(20)， 所述油水分离器(20)的出气口连接有粉尘过滤 器(21)， 所述粉尘过 滤器(21)通过三向管(18)与进气管 连接。 6.根据权利要求5所述的一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车， 其特征在于： 所述工作 平台(2)的顶部开设有凹槽， 所述盖板(15)位于凹槽的内部， 所述盖板(15)的顶部设置有第 二把手(16)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216232432 U 2一种安全放置晶圆 及晶舟盒工作推车 技术领域 [0001]本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域， 具体为一种安全放置晶圆及晶舟盒工作 推车。 背景技术 [0002]半导体厂的工作推车大多为平面推车， 即将装有晶元的晶舟盒直接放置在工作平 面上， 在使用推车将晶元运送到所需位置后， 首先操作人员会打开晶舟盒的盒盖， 然后再用 真空吸取装置将晶元片依 次从晶舟盒取出， 但在取放晶元 的过程中， 真空吸取装置仍存在 一定的吸取失误概率， 所以晶元在被 吸取的过程中可能会发生滑落， 而且由于放置在工作 台上的晶舟盒的取物口朝上设置， 造成晶元取放高度较高， 所以在晶元掉落后， 极易破碎， 故而需要研制一种新式工作推车， 以解决上述问题。 实用新型内容 [0003](一)解决的技 术问题 [0004]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种安全放置 晶圆及晶舟盒工作推车， 具备便于拿取 晶圆， 降低晶元因真空吸取失误而破碎的概率的优点， 解决了因晶元取放高 度较高， 若晶元在被吸取时意外掉 落， 晶元极易破碎的问题。 [0005](二)技术方案 [0006]本实用新型提供如下技术方案： 一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车， 包括支架、 工作平台和万向轮， 所述工作 平台与支架固定连接， 所述万向轮 设置于支架的底部， 所述工 作平台的顶部开设有置物槽， 所述置物槽前后两侧的内壁均为斜面， 所述置物槽的内部设 置有隔板， 所述置物槽的内底壁开设有限制槽， 所述限制槽的内部 设置有限制杆， 所述限制 杆的侧表面套接有抵紧弹簧， 所述抵紧弹簧通过滑套连接有压板， 所述压板的顶部设置有 第一把手。 [0007]优选的， 所述置物槽前侧内壁与竖直面的夹角和置物槽后侧内壁与竖直面的夹角 大小相同， 即置物槽前后两侧内壁的斜率相同， 当装有晶元的晶舟盒放置在置物槽内时， 晶 舟盒的侧面会与置物槽前侧或后侧的内壁贴合， 此时晶舟盒的取物口则 朝向斜上 方。 [0008]优选的， 所述限制杆的右端与限制槽右侧的内壁固定连接， 所述限制 杆的左端与 限制槽左侧的内壁固定连接， 所述限制杆位于滑套的内部， 滑套位直线轴承， 限制杆的直径 与直线轴承相匹配， 当滑套在限制杆上滑动时， 滑套只会沿着限制杆的轴向移动， 而不会发 生扰动， 从而带动压板平稳的左右移动， 所述抵紧弹簧的右端与限制 槽右侧的内壁固定连 接， 所述抵紧弹簧的左端与滑套的左端固定连接 。 [0009]优选的， 所述压板 的前后两侧均设置有固定轴， 所述固定轴的侧表面活动套接有 导轮， 所述置物槽前后两侧的内壁均开设有导槽， 所述导轮位于导槽的内部， 导轮的侧表 面 与导轮的内壁贴合， 固定轴、 导轮和导槽一同起到了辅助限制压板移动方向的作用， 使压板 只能左右移动， 并且避免了压板在左右移动过程中出现失稳， 从而导致压板与滑套连接处说　明　书 1/3 页 3 CN 216232432 U 3