(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122931617.3 (22)申请日 2021.11.26 (73)专利权人 亚洲硅业 （青海） 股份有限公司 地址 810007 青海省西宁市经济技 术开发 区金硅路1号 专利权人 青海亚洲硅业半导体有限公司 　 青海省亚硅 硅材料工程技术有限 公司 (72)发明人 曹玲玲　鲍守珍　南辉　徐丽丽　 成世杰　梁哲　 (74)专利代理 机构 成都华风专利事务所(普通 合伙) 51223 专利代理师 张巨箭 (51)Int.Cl. B05C 5/02(2006.01)B05C 11/10(2006.01) H01L 51/48(2006.01) (54)实用新型名称 一种在柔 性基底上制备钙钛矿薄膜的装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种在柔性基底上制备 钙钛矿薄膜的装置， 属于薄膜制备领域， 该装置 包括筒体(1)、 柔性基底(2)和加热夹套(3)， 所述 柔性基底(2)设置在所述筒体(1)的内壁上， 所述 加热夹套(3)设置在所述筒体(1)的外壁上； 所述 筒体(1)中设有刮板转子， 所述筒体(1)上端设有 料液入口(4)， 所述筒体(1)下端设有料液出口 (5)。 本实用新型将柔性基底(2)卷 成圆形置于 所 述筒体(1)与刮板转子之间， 液体在自身向下的 重力和转子刮板的旋转运动作用下在基底上形 成液膜薄层， 加热夹套(3)对基底进行加热使其 更容易结晶成膜， 可高效制备均匀的大面积薄 膜。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 216727962 U 2022.06.14 CN 216727962 U 1.一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装置， 其特征在于， 包括筒体(1)、 柔性基底(2) 和加热夹套(3)， 所述柔性基底(2)设置在所述筒体(1)的内壁上， 所述加热夹套(3)设置在 所述筒体(1)的外壁上； 所述筒体(1)中设有刮板转子， 所述筒体(1)上端设有料液入口(4)， 所述筒体(1)下端设有料 液出口(5)。 2.根据权利要求1所述的一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装置， 其特征在于， 所述 筒体(1)为圆筒体。 3.根据权利要求1所述的一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装置， 其特征在于， 所述 筒体(1)上 方设有动力装置(6)， 所述动力装置(6)与所述刮板转子连接 。 4.根据权利要求3所述的一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装置， 其特征在于， 所述 刮板转子为滚轮滚动刮板、 离心活动刮板和固定刚性刮板中的一种。 5.根据权利要求1所述的一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装置， 其特征在于， 所述 料液出口(5)的下 方设有收集装置(7)。 6.根据权利要求1所述的一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装置， 其特征在于， 所述 筒体(1)上端还设有通气孔(8)。 7.根据权利要求6所述的一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装置， 其特征在于， 所述 通气孔(8)为惰性气体通气孔。 8.根据权利要求1所述的一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装置， 其特征在于， 所述 料液入口(4)处设有控制阀(41)。 9.根据权利要求1所述的一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装置， 其特征在于， 所述 加热夹套(3)中设有加热介质， 所述加热夹套(3)上设有温度计(31)。 10.根据权利要求1所述的一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装置， 其特征在于， 所 述筒体(1)为 不锈钢筒体。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216727962 U 2一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及薄膜制备领域， 尤其涉及 一种在柔性基底上制备钙钛矿薄膜的装 置。 背景技术 [0002]钙钛矿太阳能电池以其优异的光电性能， 成为研究的热点。 而钙钛矿薄膜研究是 钙钛矿太阳能电池研究中的核心。 [0003]目前制备钙钛矿薄膜主要是用到旋涂法或者蒸镀法。 旋涂法受限于设备， 无法进 行大规模化和大面积的生产。 蒸镀法适合大面积制备钙钛矿薄膜， 但蒸镀 法的成本高， 需要 高的真空和大型 的设备。 如何低成本的实现钙钛矿薄膜的制备， 一直是一个重要的技术和 科学问题。 [0004]刮涂法制备薄膜材料具有用量节省、 工艺简单， 便于大规模生产等优点。 研发高 效、 均匀的薄膜制备设备 是当下研究的热点。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的在于针对现有技术中刮涂法制备薄膜的技术， 基于刮涂法制备 薄膜技术， 提供一种在柔 性基底上制备钙钛矿薄膜的装置 。 [0006]本实用新型的目的是通过以下技 术方案来实现的： [0007]主要提供一种在柔性基底上制 备钙钛矿薄膜的装置， 包括筒体、 柔性基底和加热 夹套， 所述柔性基底设置在所述筒体的内壁上， 所述加热夹套设置在所述筒体的外壁上； 所 述筒体中设有刮板转子， 所述筒体上端设有料 液入口， 所述筒体下端设有料 液出口。 [0008]作为一选项， 一种在柔 性基底上制备钙钛矿薄膜的装置， 所述筒体为圆筒体。 [0009]作为一选项， 一种在柔性基底上制 备钙钛矿薄膜的装置， 所述筒体上方设有动力 装置， 所述动力装置与所述刮板转子连接 。 [0010]作为一选项， 一种在柔性基底上制 备钙钛矿薄膜的装置， 所述刮板转子为滚轮滚 动刮板、 离心活动刮板和固定刚性刮板中的一种。 [0011]作为一选项， 一种在柔性基底上制 备钙钛矿薄膜的装置， 所述料液出口的下方设 有收集装置 。 [0012]作为一选项， 一种在柔性基底上制 备钙钛矿薄膜的装置， 所述筒体上端还设有通 气孔。 [0013]作为一选项， 一种在柔性基底上制 备钙钛矿薄膜的装置， 所述通气孔为惰性气体 通气孔。 [0014]作为一选项， 一种在柔性基底上制 备钙钛矿薄膜的装置， 所述料液入口处设有控 制阀。 [0015]作为一选项， 一种在柔性基底上制 备钙钛矿薄膜的装置， 所述加热夹套中设有加 热介质， 所述加热夹套上设有温度计。说　明　书 1/4 页 3 CN 216727962 U 3