(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222382449.1 (22)申请日 2022.09.08 (73)专利权人 上海技美科技股份有限公司 地址 201100 上海市闵行区颛 兴东路745号 3幢307室 (72)发明人 刘进　 (74)专利代理 机构 北京华仁联合知识产权代理 有限公司 1 1588 专利代理师 王海霞 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种芯片硅晶圆清洗装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种清洗装置， 尤其涉及一 种芯片硅晶圆清洗装置。 提供一种能够有效全面 的清洗芯片硅晶圆清洗装置。 一种芯片硅晶圆清 洗装置， 包括有污水箱、 放置板、 旋转轴、 软管和 喷头， 污水箱一侧设有出水口， 污水箱顶部设有 放置板， 放置板上开有漏水口， 污水箱一侧固接 旋转轴， 旋转轴上固接软管， 软管出水口螺纹式 连接喷头。 在喷头的作用下， 利用喷头和软管进 水口之间流速差产生的高压水流与晶圆表面的 污染物发生反应后， 同时将其冲刷走， 实现全面 的清洗； 在压板的作用下， 喷头对晶圆冲洗的过 程中， 能够避免晶圆发生 位移。 权利要求书1页 说明书2页 附图4页 CN 218079311 U 2022.12.20 CN 218079311 U 1.一种芯片硅晶圆清洗装置， 包括有污水箱(1)、 软管(2)和旋转轴(4),污水箱(1)一侧 固接旋转轴(4)， 旋转轴(4)上固接软管(2)， 其特征在于， 还包括有喷头(3)和放置板(5)， 污 水箱(1)一侧设有出水口(12)， 污水箱(1)顶部设有放置板(5)， 放置板(5)上开有漏水口 (11)， 软管(2)出水口(12)螺纹式连接喷头(3)。 2.根据权利要求1所述的一种芯片硅晶圆清洗装置， 其特征在于， 还包括有滑杆(6)、 压 板(7)和弹簧(8)， 放置板(5)左右两侧对称滑动式连接滑杆(6)， 滑杆(6)末端固接压板(7)， 滑杆(6)上套设弹簧(8)。 3.根据权利要求1所述的一种芯片硅晶圆清洗装置， 其特征在于， 还包括有固定块(9) 和滚轴(10)， 放置 板(5)底部固接固定块(9)， 固定块(9)转动式连接滚轴(10)。 4.根据权利要求1所述的一种芯片硅晶圆清洗装置， 其特征在于， 所述软管(2)的进水 口为三叉进水口。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218079311 U 2一种芯片硅晶圆清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及一种清洗装置， 尤其涉及一种芯片硅晶圆清洗装置 。 背景技术 [0002]晶圆清洗， 是指将晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中， 由于与各种有机 物、 粒子及金属接触而产生的污染物清除的工艺， 晶圆清洗过程中， 通常分为两大类： 湿法 清洗、 干法清洗 。 [0003]湿法清洗主要是各种化学溶剂和去离子水对晶圆进行清洗， 而在现有的清洗装置 中， 通常是将晶圆一片一片的固定在放置架上， 通过浸泡的方式让化学液体与晶圆表面的 污染物产生反应从而让达到清洗的目的， 但是通过该种 方式进行 的清洗， 会使部分反应的 残留物附着在晶圆表面， 不能够达到完全清洗的效果， 导致在后续的生产工艺中容易出现 不良品。 [0004]针对此问题， 我们设计一种能够有效全面的清洗芯片硅晶圆清洗装置 。 实用新型内容 [0005]本实用新型为了克服现有清洗装置清洗不够全面的缺点， 本实用新型要解决的技 术问题是提供一种能够有效全面的清洗芯片硅晶圆清洗装置 。 [0006]为了解决上述技术问题， 本实用新型提供了这样一种芯片硅 晶圆清洗装置， 包括 有污水箱、 软管、 喷头、 旋转轴和放置板， 污水箱一侧设有出水口， 污水箱顶部设有放置板， 放置板上开有漏水口， 污水箱 一侧固接旋转轴， 旋转轴上固接软管， 软管出水口螺纹式连接 喷头。 [0007]优选地， 还包括有滑杆、 压板和弹簧， 放置板左右两侧对称滑动式连接滑杆， 滑杆 末端固接 压板， 滑杆上套设弹簧。 [0008]优选地， 还包括有固定块和滚轴， 放置板底部固接固定块， 固定块转动式连接滚 轴。 [0009]优选地， 所述软 管的进水口为 三叉进水口。 [0010]本实用新型的有益效果 为： [0011]在喷头的作用下， 利用喷头和软管进水口之间流速差产生的高压水流与晶圆表面 的污染物发生反应后， 同时将其冲刷走， 实现全面的清洗 。 [0012]在压板的作用下， 喷头对晶圆冲洗的过程中， 能够避免晶圆发生 位移。 附图说明 [0013]图1为本实用新型的立体结构示 意图。 [0014]图2为本实用新型 软管、 喷头和旋转轴的立体结构示 意图。 [0015]图3为本实用新型放置 板、 压板和弹簧 等部件的立体结构示 意图。 [0016]图4为本实用新型固定块、 滚轴等的部分立体结构示 意图。说　明　书 1/2 页 3 CN 218079311 U 3