ICS 77. 150. 99 H68 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T26028—2010 铝蒸发料 Evaporated aluminum material 2011-01-10发布 2011-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T26028—2010 前言 本标准由全国有色金属标准化技术委员（SAC/TC243）归口。 本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。 本标准主要起草人：尚再艳、王永辉、王鹏、杨永刚、熊晓东、江轩。 GB/T26028—2010 铝蒸发料 1范围 本标准规定了铝蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货 单（或合同)内容。 本标准适用于半导体行业用的各类铝蒸发料。其他用途的铝蒸发料也可参照使用。 规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 3要求 3.1产品分类 铝蒸发料的类型按铝的纯度分为IC-A199.999和IC-A199.9995两种。 铝蒸发料形状主要分为片状和柱状两种，如图1所示。 .1 片状 柱状 图1铝蒸发料示意图 3.2成分要求 铝蒸发料的化学成分要求见表1。 1 GB/T26028—2010 表1铝蒸发料的化学成分 % 牌号 IC-A199.999 IC-A199.9995 AI含量不小于 99.999 99.9995 As、Ag、Au、B、Be、Ca、Ce、Cr、Cs、Cu、Fe、K、Li、Mg、Mn、Na、Ni、P、Sb、Si、Sn、Th、 必检杂质元素 Ti.U、V、Zr、Zn 0.001 0.0005 杂质总含量不大于 其中.K+Na+Li:≤0.0001 其中:K+Na+Li:≤0.0001 注1：铝的含量为100%减去表中杂质元素实测总和的余量。 注2：顾客对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商确认。 铝蒸发料的非金属元素含量（%）要求如下： C:≤0. 002 0,Cl:≤0. 000 4、N:≤0. 001 0、0:≤0. 003 0、H:≤0. 000 1.S:≤0. 001 0 3.3供货状态 铝蒸发料以加工态供货。 3. 4 几何尺寸 铝蒸发料的规格及允许偏差如表2所示。 表2铝蒸发料规格 片状 柱状 项 目 A B R D L 10 10 2 1 6 尺寸/mm 15 15 2 1. 5 6 6 20 允许偏差/mm ±0.5 ±0. 5 ±0.2 ±1 ±1 注：经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的铝蒸发料。 3.5外观质量 铝蒸发料表面应光亮平整、洁净，边、角完整，无飞边、无毛刺、无夹杂、无裂纹等缺陷；应清洁、无油 污和锈蚀；应无颗粒附加物和其他沾污。 4 试验方法 4. 1 铝蒸发料的金属杂质、CI含量采用辉光放电质谱（GDMS)检测。非金属杂质元素C、N、O、H、S 2 GB/T26028—2010 的分析方法由供需双方协商决定。 4.2铝蒸发料几何尺寸的测量按GB/T15077规定进行。客户特别要求，可按技术协议或按需方图 纸、来样检查验收。 4.3外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。 5检验规则 5.1检查和验收 5.1.1铝蒸发料由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写质 量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准（或订货合同）的规定不符 时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样由供需双方 共同进行。 5.2组批 铝蒸发料应成批提交检验。每批应由同一炉次、牌号和规格的产品组成。 5.3检验项目、取样位置和取样数量 取样位置和取样数量按表3的规定进行。 SZC 表3检验项目、取样位置及数量 检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条号 检验方法的章条号 化学成分 熔炼留样 每炉1个 3. 2 4. 1 按GB2828.1标准取S-1， 尺 寸 成品随机取样 3. 4 4.2 AQL=1.5抽取样品 按GB2828.1标准取S-1, 表面质量 成品随机取样 3. 5 4. 3 AQL=1.5抽取样品 包装质量 逐件 6. 2. 1 4. 4 5.4检验结果判定 合格，则判该炉铸锭不合格。 5.4.2尺寸不合格时，判该批产品不合格。 5.4.3外观质量不合格时，判该批产品不合格。 3