(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123049893.3 (22)申请日 2021.12.07 (73)专利权人 深圳市信亿 德科技有限公司 地址 518000 广东省深圳市光明新区玉塘 街道同观路远望谷射频识别产业园2 栋7楼 (72)发明人 李献忠　刘圣光　 (74)专利代理 机构 深圳市优一知识产权代理事 务所(普通 合伙) 44522 代理人 宣士艳 (51)Int.Cl. F28D 21/00(2006.01) F26B 25/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种方便使用的后烘机热交换器 (57)摘要 本实用新型提供了一种方便使用的后烘机 热交换器， 包括热交换器本体、 设于热交换器本 体上端的热媒进口和冷媒进口、 设于热交换器本 体下端的热媒出口和冷媒出口、 设于热媒进口处 的第一拨动开关、 设于 冷媒进口处的第二拨动开 关， 以及连接第一拨动开关和第二拨动开关之间 的联动块， 第一拨动开关和第二拨动开关的开关 方向相反。 上述方便使用的后烘机热交换器， 通 过将热媒进口和冷媒进口设置在热交换器本体 的同一侧， 再将第一拨动开关和第二拨动开关的 开关方向设置得相反， 当向左移动联动块时， 第 一拨动开关开启， 第二拨动开关关闭， 当向右移 动联动块时， 第一拨动开关关闭， 第二拨动开关 开启， 实现一键切换加热和制冷功能， 提高了操 作便利性。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216432646 U 2022.05.03 CN 216432646 U 1.一种方便使用的后烘机热交换器， 其特征在于， 包括热交换器本体、 设于所述热交换 器本体上端的热媒进口和冷媒进口、 设于所述热交换器本体下端的热媒出 口和冷媒出 口、 设于所述热媒进口处的第一拨动开关、 设于所述冷媒进口处的第二拨动开关， 以及连接所 述第一拨动开关和所述第二拨动开关之 间的联动块， 所述第一拨动开关和所述第二拨动开 关的开关方向相反。 2.根据权利要求1所述的方便使用的后烘机热交换器， 其特征在于， 所述联动块的下端 设有导向块， 所述联动块与所述 导向块滑动连接 。 3.根据权利要求1所述的方便使用的后烘机热交换器， 其特征在于， 所述联动块的一侧 设有伸缩机构。 4.根据权利要求3所述的方便使用的后烘机热交换器， 其特征在于， 所述伸缩机构包括 伸缩电机和伸缩杆， 所述伸缩杆与所述联动块固定连接 。 5.根据权利要求2所述的方便使用的后烘机热交换器， 其特征在于， 所述联动块包括与 所述导向块连接的滑动部和设于所述滑动部 两侧的两个连接 部。 6.根据权利要求5所述的方便使用的后烘机热交换器， 其特征在于， 所述连接部的末端 设有对接孔。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216432646 U 2一种方便使用的后烘机热交换器 技术领域 [0001]本实用新型涉及硅片加工设备技术领域， 特别涉及一种方便使用的后 烘机热交换 器。 背景技术 [0002]在曝光过程中， 在曝光区与非曝光区边界将会出现驻波效应， 驻波效应将会在两 个区域的边界附近形成强弱相间的过渡区， 这将影响显影后形成的图形尺寸和分辨率。 为 了降低驻波效应的影响， 在曝光后需要进行烘焙， 称为曝光后烘烤(简称后烘)。 换热器(亦 称为热交换器或热交换设备)是用来使热量从热流体传递到冷流体， 以满足规定的工艺要 求的装置， 是对流传热及热传导的一种工业应用。 换热器可以按不同的方式分类。 按其操作 过程可分为间壁式、 混合式、 蓄热式(或称回热式)三大类； 按其表 面的紧凑程度可分为紧凑 式和非紧凑式两类。 [0003]现有的后 烘机， 使用过程中， 需要进过预烘烤、 冷却、 曝光、 预冷却、 曝光后 烘烤、 冷 却等步骤， 此过程中， 存在多个烘烤和冷却的步骤， 因此需要频繁开启烘烤和冷却的功能， 操作繁琐， 使用不便 。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的是提供一种方便使用的后烘机热交换器， 以解决现有的后 烘机 中的热交换器使用不便的问题。 [0005]本实用新型提供了一种方便使用的后烘机热交换器， 包括热交换器本体、 设于所 述热交换器本体上端的热媒进口和冷媒进口、 设于所述热 交换器本体下端的热媒出口和冷 媒出口、 设于所述热媒进口处的第一拨动开关、 设于所述冷媒进口处的第二拨动开关， 以及 连接所述第一拨动开关和所述第二拨动开关之 间的联动块， 所述第一拨动开关和所述第二 拨动开关的开关方向相反。 [0006]上述方便使用的后 烘机热交换器， 通过将热媒进口和冷媒进口设置在热交换器本 体的同一侧， 再将第一拨动开关和第二拨动开关的开关方向设置得相反， 当向左移动联动 块时， 第一拨动开关开启， 第二拨动开关关闭， 当向右移动联动块时， 第一拨动开关关闭， 第 二拨动开关开启， 实现一键切换加热和制冷功能， 提高了操作便利性。 [0007]进一步地， 所述联动块的下端设有导向块， 所述联动块与所述 导向块滑动连接 。 [0008]进一步地， 所述联动块的一侧设有伸缩机构。 [0009]进一步地， 所述伸缩机构包括伸缩电机和伸缩杆， 所述伸缩杆与所述联动块固定 连接。 [0010]进一步地， 所述联动块包括与所述导向块连接的滑动部和设于所述滑动部两侧的 两个连接 部。 [0011]进一步地， 所述连接 部的末端设有对接孔。说　明　书 1/3 页 3 CN 216432646 U 3